Uz kontinuirani razvoj tehnologije poluvodiča, u industriji poluvodiča, pa čak i fotonaponskoj industriji, zahtjevi za kvalitetu površine podloge pločice ili epitaksijalne ploče također su vrlo strogi.Dakle, koji su zahtjevi kvalitete za vafle?Uzimajući safirne pločice kao primjer, koji pokazatelji se mogu koristiti za procjenu kvalitete površine pločica?
Koji su pokazatelji ocjenjivanja napolitanki?
Tri pokazatelja
Za safirne pločice, njegovi pokazatelji procjene su ukupno odstupanje debljine (TTV), savijanje (Bow) i Warp (Warp).Ova tri parametra zajedno odražavaju ravnomjernost i ujednačenost debljine silicijske pločice i mogu mjeriti stupanj valovitosti pločice.Valovitost se može kombinirati s ravnošću kako bi se ocijenila kvaliteta površine pločice.
Što je TTV, BOW, Warp?
TTV (Ukupna varijacija debljine)
TTV je razlika između maksimalne i minimalne debljine pločice.Ovaj parametar je važan indeks koji se koristi za mjerenje ujednačenosti debljine pločice.U poluvodičkom postupku, debljina pločice mora biti vrlo jednolika po cijeloj površini.Mjerenja se obično vrše na pet mjesta na pločici i izračunava se razlika.U konačnici, ova vrijednost je važna osnova za ocjenu kvalitete vafla.
Nakloniti se
Luk u proizvodnji poluvodiča odnosi se na savijanje pločice, oslobađajući razmak između središta neučvršćene pločice i referentne ravnine.Riječ vjerojatno dolazi od opisa oblika predmeta kada je savijen, poput zakrivljenog oblika luka.Bow vrijednost definirana je mjerenjem odstupanja između središta i ruba silicijske pločice.Ova vrijednost se obično izražava u mikrometrima (µm).
Warp
Warp je globalno svojstvo pločica koje mjeri razliku između maksimalne i minimalne udaljenosti između sredine slobodno nestegnute pločice i referentne ravnine.Predstavlja udaljenost od površine silicijske pločice do ravnine.
Koja je razlika između TTV, Bow, Warp?
TTV se fokusira na promjene u debljini i ne bavi se savijanjem ili izobličenjem pločice.
Luk se fokusira na cjelokupni zavoj, uglavnom uzimajući u obzir zavoj središnje točke i ruba.
Warp je sveobuhvatniji, uključujući savijanje i uvijanje cijele površine vafla.
Iako su ova tri parametra povezana s oblikom i geometrijskim svojstvima silicijske pločice, različito se mjere i opisuju, a njihov utjecaj na proces poluvodiča i obradu pločice također je različit.
Što su tri parametra manja, to je bolje, a što je parametar veći, to je veći negativan utjecaj na poluvodički proces.Stoga, kao praktičar poluvodiča, moramo shvatiti važnost parametara profila pločice za cijeli proces procesa, raditi proces poluvodiča, moramo obratiti pozornost na detalje.
（cenzura）
Vrijeme objave: 24. lipnja 2024