Sadržaj
1. Pregled i osnovne funkcije FOUP-a
2. Strukturne i dizajnerske značajke FOUP-a
3. Smjernice za klasifikaciju i primjenu FOUP-a
4. Operacije i važnost FOUP-a u proizvodnji poluvodiča
5. Tehnički izazovi i budući razvojni trendovi
6. XKH-ova prilagođena rješenja i servisna podrška
U procesu proizvodnje poluvodiča, FOUP (Front Opening Unified Pod) je ključni spremnik koji se koristi za zaštitu, transport i skladištenje pločica. Njegova unutrašnjost može primiti 25 komada pločica od 300 mm, a njegove glavne komponente uključuju spremnik koji se otvara sprijeda i namjenski okvir vrata za otvaranje i zatvaranje. FOUP je nosač jezgre u automatiziranom transportnom sustavu unutar tvornica pločica od 12 inča. Obično se prevozi u zatvorenom stanju i otvara se tek kada se gurne do otvora za utovar opreme, što omogućuje prijenos pločica u otvor za utovar/istovar opreme.
Dizajn FOUP-a prilagođen je zahtjevima mikrookruženja. Straga ima utore za umetanje pločica, a poklopac je posebno dizajniran kako bi odgovarao stezaljci otvarača. Roboti za rukovanje pločicama rade u okruženju čistog zraka klase 1, osiguravajući da se pločice ne kontaminiraju tijekom prijenosa. Nadalje, FOUP se premješta između procesnih alata putem automatiziranog sustava za rukovanje materijalom (AMHS). Moderne tvornice pločica uglavnom koriste nadzemne željezničke sustave za prijevoz, dok neke starije tvornice mogu koristiti zemaljska automatski vođena vozila (AGV).
FOUP ne samo da omogućuje automatizirani prijenos pločica, već služi i kao skladište. Zbog brojnih proizvodnih koraka, cijeli proces proizvodnje pločica može trajati mjesecima. U kombinaciji s visokim mjesečnim količinama proizvodnje, to znači da su deseci tisuća pločica unutar tvornice stalno u tranzitu ili privremenom skladištu u bilo kojem trenutku. Tijekom skladištenja, FOUP-ovi se periodično pročišćavaju dušikom kako bi se spriječio kontakt onečišćujućih tvari s pločicama, osiguravajući čist i pouzdan proizvodni proces.
1. Funkcije i važnost FOUP-a
Osnovna funkcija FOUP-a je zaštita pločica od vanjskih udara i kontaminacije, posebno izbjegavajući utjecaje na prinos tijekom prijenosa. Učinkovito sprječava vlagu metodama poput pročišćavanja plinom i kontrole lokalne atmosfere (LAC), osiguravajući da pločice ostanu u sigurnom stanju dok čekaju sljedeći korak proizvodnje. Njegov zatvoreni i kontrolirani sustav omogućuje ulazak samo potrebnih spojeva i elemenata, značajno smanjujući štetne učinke hlapljivih organskih spojeva, kisika i vlage na pločice.
Budući da FOUP potpuno natovaren s 25 pločica može težiti do 9 kilograma, njegov transport mora se oslanjati na Automatizirani sustav za rukovanje materijalom (AMHS). Kako bi se to olakšalo, FOUP je dizajniran s raznim kombinacijama spojnih ploča, igli i rupa te je opremljen RFID elektroničkim oznakama za jednostavnu identifikaciju i klasifikaciju. Ovo automatizirano rukovanje gotovo da ne zahtijeva ručni rad, što uvelike smanjuje stopu pogrešaka i povećava sigurnost i točnost proizvodnog procesa.
2. Struktura i klasifikacija FOUP-a
Tipične dimenzije FOUP-a su približno 420 mm širine, 335 mm dubine i 335 mm visine. Njegove glavne strukturne komponente uključuju: gornju OHT (gljivastu glavu) za transport nadzemnom dizalicom; prednja vrata za pristup pločicama opreme; bočne ručke, često označene bojama kako bi se razlikovala procesna područja s različitim razinama kontaminacije; područje za kartice za postavljanje kartica s porukama; i donju RFID oznaku koja služi kao jedinstveni identifikator za FOUP, omogućujući alatima i nadzemnim dizalicama da ga prepoznaju. Baza je također opremljena s četiri otvora za identifikaciju i pozicioniranje za usklađivanje s alatima i razlikovanje procesnih područja.
Na temelju upotrebe, FOUP-ovi se klasificiraju u tri vrste: PRD (za proizvodnju), ENG (za inženjerske pločice) i MON (za monitorske pločice). PRD FOUP-ovi mogu se koristiti za proizvodnju proizvoda, ENG vrste su prikladne za istraživanje i razvoj ili eksperimente, a MON vrste su namijenjene praćenju procesa za korake poput CMP i DIFF. Važno je napomenuti da se PRD FOUP-ovi mogu koristiti i za ENG i za MON svrhe, a ENG vrste se mogu koristiti i za MON, ali obrnuta operacija predstavlja rizik za kvalitetu.
Klasificirani prema stupnju kontaminacije, FOUP-ovi se mogu podijeliti na FE FOUP (prednji proces, bez metala), BE FOUP (zadnji proces, sadrži metal) i one specijalizirane za specifične procese s metalima poput NI FOUP-a, CU FOUP-a i CO FOUP-a. FOUP-ovi za različite procese obično se razlikuju po boji bočnih ručki ili panela vrata. FOUP-ovi iz prednjih procesa mogu se koristiti u pozadinskim procesima, ali pozadinski FOUP-ovi se nikada ne smiju koristiti u prednjim procesima, jer bi to uzrokovalo rizik od kontaminacije.
Kao ključni nositelj u proizvodnji poluvodiča, FOUP, kroz visoku automatizaciju i strogu kontrolu kontaminacije, osigurava sigurnost i čistoću pločica tijekom proizvodnog procesa, što ga čini nezamjenjivom infrastrukturom u modernim tvornicama pločica.
Zaključak
XKH je posvećen pružanju visoko prilagođenih rješenja za Front-Opening Unified Pod (FOUP) klijentima, strogo se pridržavajući vaših specifičnih procesnih zahtjeva i specifikacija sučelja opreme. Koristeći naprednu tehnologiju materijala i precizne proizvodne procese, osiguravamo da svaki FOUP proizvod pruža iznimnu nepropusnost za zrak, čistoću i mehaničku stabilnost. Naš tehnički tim posjeduje duboko stručno znanje u industriji, nudeći sveobuhvatnu podršku tijekom životnog ciklusa - od savjetovanja o odabiru i strukturne optimizacije do čišćenja i održavanja - osiguravajući besprijekornu integraciju i učinkovitu suradnju između FOUP-a i vašeg automatiziranog sustava za rukovanje materijalima (AMHS), kao i opreme za obradu. Dosljedno dajemo prioritet sigurnosti pločica i povećanju prinosa proizvodnje kao našim glavnim ciljevima. Kroz inovativne proizvode i sveobuhvatne tehničke usluge pružamo robusno jamstvo za vaše procese proizvodnje poluvodiča, u konačnici povećavajući učinkovitost proizvodnje i prinos proizvoda.
Vrijeme objave: 08.09.2025.