156 mm 159 mm 6-inčna safirna pločica za nosač C-ravnine DSP TTV
Specifikacija
Artikal | 6-inčne C-ravnine (0001) safirne pločice | |
Kristalni materijali | 99,999%, visoka čistoća, monokristalni Al2O3 | |
Razred | Prime, Epi-Ready | |
Orijentacija površine | C-ravnina (0001) | |
Kut izvan C-ravnine prema M-osi 0,2 +/- 0,1° | ||
Promjer | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Debljina | 650 μm +/- 25 μm | |
Primarna orijentacija stana | C-ravnina (00-01) +/- 0,2° | |
Polirano s jedne strane | Prednja površina | Epi-polirano, Ra < 0,2 nm (AFM-om) |
(SSP) | Stražnja površina | Fino brušeno, Ra = 0,8 μm do 1,2 μm |
Dvostrano polirano | Prednja površina | Epi-polirano, Ra < 0,2 nm (AFM-om) |
(DSP) | Stražnja površina | Epi-polirano, Ra < 0,2 nm (AFM-om) |
TTV | < 20 μm | |
PRAMAC | < 20 μm | |
DEFORMACIJA | < 20 μm | |
Čišćenje / Pakiranje | Čišćenje čistih soba klase 100 i vakuumsko pakiranje, | |
25 komada u pakiranju od jedne kasete ili pojedinačnog komada. |
Kylopoulosovu metodu (KY metodu) trenutno koriste mnoge tvrtke u Kini za proizvodnju safirnih kristala za upotrebu u elektroničkoj i optičkoj industriji.
U ovom procesu, aluminijev oksid visoke čistoće tali se u lončiću na temperaturama iznad 2100 stupnjeva Celzija. Lončić je obično izrađen od volframa ili molibdena. Precizno orijentirani kristalni sjemenski element uronjen je u rastaljeni aluminijev oksid. Kristalni sjemenski element se polako povlači prema gore i može se istovremeno rotirati. Preciznom kontrolom temperaturnog gradijenta, brzine povlačenja i brzine hlađenja, iz taline se može proizvesti veliki, monokristalni, gotovo cilindrični ingot.
Nakon što se uzgoje ingoti monokristalnog safira, oni se buše u cilindrične šipke, koje se zatim režu na željenu debljinu prozora i na kraju poliraju do željene površinske obrade.
Detaljan dijagram


