4H-N/6H-N SiC Wafer Research proizvodnja Dummy grade Dia150mm silicij-karbidna podloga
Specifikacija podloge silicijevog karbida (SiC) promjera 6 inča
Razred | Nula MPD | Proizvodnja | Ocjena istraživanja | Dummy Grade |
Promjer | 150,0 mm ± 0,25 mm | |||
Debljina | 4H-N | 350µm±25µm | ||
4H-SI | 500µm±25µm | |||
Orijentacija pločice | Na osi:<0001>±0,5° za 4H-SI | |||
Primarni stan | {10-10}±5,0° | |||
Primarna duljina ravne površine | 47,5 mm ± 2,5 mm | |||
Isključivanje rubova | 3 mm | |||
TTV/Luk/Osnovna ploča | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Gustoća mikrocijevi | ≤1 cm-2 | ≤5 cm-2 | ≤15 cm-2 | ≤50 cm-2 |
Otpornost 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028 Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Hrapavost | Poljski Ra ≤1nm CMP Ra ≤0,5nm | |||
#Pukotine uzrokovane svjetlom visokog intenziteta | Ništa | 1 dopušteno, ≤2 mm | Kumulativna duljina ≤10 mm, pojedinačna duljina ≤2 mm | |
*Šesterokutne ploče pod visokim intenzitetom svjetla | Kumulativna površina ≤1% | Kumulativna površina ≤ 2% | Kumulativna površina ≤ 5% | |
*Politipizirana područja svjetlom visokog intenziteta | Ništa | Kumulativna površina ≤ 2% | Kumulativna površina ≤ 5% | |
*&Ogrebotine uzrokovane svjetlom visokog intenziteta | 3 ogrebotine na kumulativnu duljinu 1 x promjera pločice | 5 ogrebotina na 1 x promjer pločice kumulativne duljine | 5 ogrebotina do 1 x promjera pločice kumulativne duljine | |
Rubni čip | Ništa | 3 dopuštena, ≤0,5 mm svaki | 5 dopušteno, ≤1 mm svaki | |
Kontaminacija svjetlošću visokog intenziteta | Ništa
|
Prodaja i korisnička podrška
Nabava materijala
Odjel za nabavu materijala odgovoran je za prikupljanje svih sirovina potrebnih za proizvodnju vašeg proizvoda. Potpuna sljedivost svih proizvoda i materijala, uključujući kemijske i fizičke analize, uvijek je dostupna.
Kvaliteta
Tijekom i nakon proizvodnje ili strojne obrade vaših proizvoda, odjel za kontrolu kvalitete uključen je u osiguravanje da svi materijali i tolerancije zadovoljavaju ili premašuju vaše specifikacije.
Servis
Ponosni smo što imamo prodajno inženjersko osoblje s preko 5 godina iskustva u industriji poluvodiča. Osposobljeni su za odgovaranje na tehnička pitanja, kao i za pružanje pravovremenih ponuda za vaše potrebe.
Tu smo za vas kad god imate problem i rješavamo ga u roku od 10 sati.
Detaljan dijagram

