8-inčna litijeva niobatna pločica LiNbO3 LN pločica
Detaljne informacije
Promjer | 200±0,2 mm |
velika ravnost | 57,5 mm, urez |
Orijentacija | 128Y-rez, X-rez, Z-rez |
Debljina | 0,5±0,025 mm, 1,0±0,025 mm |
Površinski | DSP i SSP |
TTV | < 5µm |
PRAMAC | ± (20µm ~40um) |
Warp | <= 20µm ~ 50µm |
LTV (5 mm x 5 mm) | <1,5 um |
PLTV (<0,5 μm) | ≥98% (5 mm * 5 mm) s isključenim rubom od 2 mm |
Ra | Ra<=5A |
Grebi i kopaj (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 |
Rub | Upoznajte SEMI M1.2@s GC800#. regularni C tip |
Specifične specifikacije
Promjer: 8 inča (otprilike 200 mm)
Debljina: Uobičajene standardne debljine kreću se od 0,5 mm do 1 mm. Druge debljine mogu se prilagoditi prema specifičnim zahtjevima.
Orijentacija kristala: Glavna uobičajena orijentacija kristala je 128Y-rez, Z-rez i X-rez, a mogu se osigurati i druge orijentacije kristala ovisno o specifičnoj primjeni.
Prednosti veličine: Oblatne od šarana nazupčanog oblika od 8 inča imaju nekoliko prednosti u odnosu na manje oblatne:
Veća površina: U usporedbi s pločicama od 6 ili 4 inča, pločice od 8 inča pružaju veću površinu i mogu primiti više uređaja i integriranih krugova, što rezultira povećanom učinkovitošću proizvodnje i prinosom.
Veća gustoća: Korištenjem 8-inčnih pločica, više uređaja i komponenti može se realizirati u istom području, povećavajući integraciju i gustoću uređaja, što zauzvrat poboljšava performanse uređaja.
Bolja konzistentnost: Veće pločice imaju bolju konzistentnost u proizvodnom procesu, što pomaže u smanjenju varijabilnosti u proizvodnom procesu i poboljšava pouzdanost i konzistentnost proizvoda.
8-inčne L i LN pločice imaju isti promjer kao i standardne silicijske pločice i lako se spajaju. Kao visokoučinkoviti materijal "spojenog SAW filtera" koji može podnijeti visokofrekventne pojaseve.
Detaljan dijagram



