Visokoučinkoviti krajnji efektor od aluminijevog keramičkog oksida (vilica) za automatizaciju poluvodiča i čistih soba

Kratki opis:

Alumina keramički krajnji efektor, također poznat kao keramička vilica ili robotska keramička ruka, visokoprecizna je komponenta za rukovanje dizajnirana za automatizirane sustave u poluvodičkim, fotonaponskim, panelnim zaslonima i laboratorijskim okruženjima visoke čistoće. Projektirana je kako bi pružila iznimnu toplinsku stabilnost, mehaničku krutost i kemijsku otpornost, nudeći čist, pouzdan i siguran transport osjetljivih materijala poput silicijskih pločica, staklenih podloga i elektroničkih mikrokomponenti.

Pošaljite nam e-poštu

Značajke

Detaljan dijagram

Uvod u proizvod

Kao vrsta robotskog krajnjeg efektora, ova keramička komponenta je konačno sučelje između automatizacijskog sustava i obratka. Igra ključnu ulogu u preciznom prijenosu, poravnanju, utovaru/istovaru i zadacima pozicioniranja u čistim sobama i vakuumskim okruženjima.

keramička-ruka-za-pogon-pločica-poluvodiča-G07

Pregled materijala – Alumina keramika (Al₂O₃)

Aluminijeva keramika je visoko stabilan i kemijski inertan tehnički keramički materijal poznat po svojim izvrsnim mehaničkim i električnim svojstvima. Aluminijeva oksida visoke čistoće (≥ 99,5%) koja se koristi u ovim krajnjim efektorima osigurava:

Visoka tvrdoća (Mohs 9)Aluminij, odmah iza dijamanta, pruža ekstremnu otpornost na habanje.
Sposobnost za visoke temperatureOdržava strukturni integritet iznad 1600°C.
Kemijska inertnostOtporno na kiseline, lužine, otapala i okruženja plazma jetkanja.
Električna izolacijaS visokom dielektričnom čvrstoćom i niskim dielektričnim gubicima.
Nisko toplinsko širenjeOsigurava dimenzijsku stabilnost u uvjetima termičkih ciklusa.
Nisko stvaranje česticaNeophodno za kompatibilnost s čistim sobama (klasa 10 do klase 1000).

Zbog ovih svojstava, aluminijeva keramika je idealna za kritične operacije u industrijama osjetljivim na kontaminaciju.

Funkcionalne primjene

Krajnji efektor od aluminijeve keramike široko se primjenjuje u visokotehnološkim industrijskim procesima, posebno tamo gdje tradicionalni metalni ili plastični materijali ne zadovoljavaju uvjete zbog toplinskog širenja, onečišćenja ili korozije. Ključna područja primjene uključuju:

Prijenos poluvodičke pločice
Sustavi za utovar i istovar fotolitografije
Rukovanje staklenim podlogama u OLED i LCD linijama
Prijenos kristalnih silicijskih pločica u proizvodnji solarnih ćelija
Automatizirana optička ili mikroelektronička inspekcija
Prijevoz uzoraka u analitičkim ili biomedicinskim laboratorijima
Sustavi za automatizaciju vakuumskog okruženja

Njegova sposobnost rada bez unošenja čestica ili statičkog naboja čini ga nezamjenjivim za precizne robotske operacije u automatizaciji čistih soba.

Značajke dizajna i prilagodba

Svaki keramički krajnji efektor konstruiran je tako da odgovara određenoj robotskoj ruci ili sustavu za rukovanje pločicama. Podržavamo potpunu prilagodbu na temelju:

Kompatibilnost veličine pločice2", 4", 6", 8", 12" i više
Geometrija i razmak utoraOmogućuje prianjanje rubova, potporu stražnje strane ili dizajn s urezanim pločicama
Usisni otvoriIntegrirani vakuumski otvori ili kanali za beskontaktno rukovanje
Konfiguracija montažeRupe, navoji, utori prilagođeni prirubnici krajnjeg alata vašeg robota
Površinska obradaPolirana, lepana ili fino brušena završna obrada (dostupno Ra < 0,2 µm)
Zaštita rubovaZaobljeni kutovi ili zakošeni rubovi kako bi se izbjeglo oštećenje pločice

Korištenjem CAD crteža ili 3D modela koje dostavljaju kupci, naši inženjeri mogu optimizirati svaku vilicu u pogledu težine, čvrstoće i čistoće.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Prednosti keramičkih krajnjih efektora

Značajka	Korist
Visoka mehanička krutost	Održava dimenzijsku preciznost pod robotskim silama opterećenja
Izvrsne toplinske performanse	Pouzdano radi u okruženjima visoke temperature ili plazme
Nula kontaminacije metalima	Nema rizika od kontaminacije ionima u kritičnoj obradi poluvodiča
Površina s niskim trenjem	Smanjuje rizik od ogrebotina na pločicama ili staklenim podlogama
Antistatički i nemagnetski	Ne privlači prašinu niti utječe na magnetski osjetljive komponente
Dugi vijek trajanja	Vrhunska otpornost na habanje u ponavljajućim ciklusima automatizacije velikom brzinom
Ultra-Clean kompatibilnost	Pogodno za čiste sobe prema ISO 14644 (klasa 100 i niže)

U usporedbi s plastičnim ili aluminijskim ručkama, aluminijeva keramika pruža dramatično poboljšanu kemijsku i fizičku stabilnost uz minimalne zahtjeve za održavanjem.

Nekretnina	Metalna ruka	Plastična ruka	Keramička ruka od aluminijevog oksida
Tvrdoća	Umjereno	Nisko	Vrlo visoko (Mohsova skala 9)
Termička stabilnost	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Kemijska otpornost	Umjereno	Siromašno	Izvrsno
Prikladnost za čiste prostorije	Srednji	Nisko	Vrlo visoko
Otpornost na habanje	Srednji	Nisko	Izvanredno
Dielektrična čvrstoća	Nisko	Srednji	Visoko
Precizna obrada po narudžbi	Ograničeno	Umjereno	Visoko (moguće ±0,01 mm)

Tehničke specifikacije

Parametar	Vrijednost
Materijal	Alumina visoke čistoće (≥ 99,5%)
Radna temperatura	Do 1600°C
Hrapavost površine	Ra ≤ 0,2 µm (opcionalno)
Kompatibilne veličine pločica	2" do 12" ili prilagođeno
Tolerancija ravnosti	±0,01 mm (ovisno o primjeni)
Podrška za vakuumsko usisavanje	Neobavezni, prilagodljivi kanali
Mogućnosti montaže	Vijčani, prirubnički, prorezi

Često postavljana pitanja (FAQ)

P1: Može li se krajnji efektor integrirati u postojeće robotske sustave?
A1:Da. Podržavamo prilagodbu na temelju vašeg robotskog sučelja. Možete nam poslati CAD crtež ili dimenzije prirubnice za preciznu prilagodbu.

P2: Hoće li se keramičke ručke lako slomiti tijekom upotrebe?
A2:Iako je keramika po prirodi krhka, naši dizajni koriste optimiziranu geometriju kako bi se smanjila koncentracija naprezanja. U pravilnim uvjetima upotrebe pružaju znatno dulji vijek trajanja od metala ili plastike.

P3: Je li ovo moguće koristiti u komorama za ultra-visoko vakuumsko ili plazma jetkanje?
A3:Da. Aluminijeva keramika ne ispušta plinove, toplinski je stabilna i otporna na koroziju - savršeno je prikladna za okruženja visokog vakuuma, reaktivnog plina ili plazme.

P4: Kako se ove komponente čiste ili održavaju?
A4:Mogu se čistiti demineraliziranom vodom, alkoholom ili deterdžentima kompatibilnim s čistim sobama. Zbog kemijske stabilnosti i inertne površine nije potrebno posebno održavanje.

O nama

XKH se specijalizirao za visokotehnološki razvoj, proizvodnju i prodaju posebnog optičkog stakla i novih kristalnih materijala. Naši proizvodi služe optičkoj elektronici, potrošačkoj elektronici i vojsci. Nudimo safirne optičke komponente, poklopce za leće mobilnih telefona, keramiku, LT, silicijev karbid SIC, kvarc i poluvodičke kristalne pločice. S vještim znanjem i najsuvremenijom opremom, ističemo se u obradi nestandardnih proizvoda, s ciljem da postanemo vodeće visokotehnološko poduzeće u području optoelektroničkih materijala.