LiTaO3 litijevi tantalat ingoti s Fe/Mg dopiranjem, prilagođeni 4 inča, 6 inča, 8 inča za industrijsko mjerenje
Tehnički parametri
Specifikacija | Konvencionalno | Visoka preciznost |
Materijali | LiTaO3(LT)/LiNbO3 pločice | LiTaO3(LT)/LiNbO3 pločice |
Orijentacija | X-112°Y, 36°Y, 42°Y±0,5° | X-112°Y, 36°Y, 42°Y±0,5° |
Paralelno | 30″ | 10'' |
Okomito | 10 minuta | 5' |
Kvaliteta površine | 40/20 | 20/10 |
Izobličenje valne fronte | λ/4@632nm | λ/8@632nm |
Ravnost površine | λ/4@632nm | λ/8@632nm |
Čisti otvor blende | >90% | >90% |
Skošenje | <0,2×45° | <0,2×45° |
Tolerancija debljine/promjera | ±0,1 mm | ±0,1 mm |
Maksimalne dimenzije | promjer 150 × 50 mm | promjer 150 × 50 mm |
XKH usluge
1. Izrada ingota velikih razmjera
Veličina i rezanje: Ingoti od 3–8 inča s X/Y/Z-rezom, Y-rezom od 42° i prilagođenim kutnim rezovima (tolerancija ±0,01°).
Kontrola dopinga: Fe/Mg ko-dopiranje Czochralskijevom metodom (raspon koncentracija 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) za optimizaciju fotorefraktivne otpornosti i toplinske stabilnosti.
2. Napredne procesne tehnologije
Heterogena integracija: Kompozitne pločice (POI) od LiTaO3 na bazi silicija s kontrolom debljine (300–600 nm) i toplinskom vodljivošću do 8,78 W/m·K za visokofrekventne SAW filtere.
Izrada valovoda: Tehnike protonske izmjene (PE) i obrnute protonske izmjene (RPE), postižući submikronske valovode (Δn > 0,7) za brze elektrooptičke modulatore (propusnost > 40 GHz).
3. Sustavi upravljanja kvalitetom
Ispitivanje od početka do kraja: Ramanova spektroskopija (provjera politipa), XRD (kristalnost), AFM (morfologija površine) i ispitivanje optičke ujednačenosti (Δn <5×10⁻⁵).
4. Podrška globalnom lancu opskrbe
Proizvodni kapacitet: Mjesečna proizvodnja >5.000 ingota (8 inča: 70%), uz podršku za hitnu dostavu u roku od 48 sati.
Logistička mreža: Pokrivenost u Europi, Sjevernoj Americi i azijsko-pacifičkoj regiji putem zračnog/morskog prijevoza s pakiranjem kontroliranom temperaturom.
5. Tehnički zajednički razvoj
Zajednički istraživačko-razvojni laboratoriji: Suradnja na platformama za fotonsku integraciju (npr. spajanje slojeva SiO2 s malim gubicima).
Sažetak
LiTaO3 ingoti služe kao strateški materijali koji preoblikuju optoelektroniku i kvantne tehnologije. Kroz inovacije u rastu kristala (npr. PVT), ublažavanju defekata i heterogenoj integraciji (npr. POI), pružamo visokopouzdana i isplativa rješenja za 5G/6G komunikacije, kvantno računarstvo i industrijski IoT. Posvećenost XKH-a unapređenju smanjenja defekata ingota i skaliranju proizvodnje 8-inčnih ingota osigurava klijentima vodeću ulogu u globalnim lancima opskrbe, potičući sljedeću eru ekosustava poluvodiča sa širokim pojasom.

