LiTaO3 pločica 2-8 inča 10x10x0,5 mm 1sp 2sp za 5G/6G komunikacije
Tehnički parametri
Ime | LiTaO3 optičke kvalitete | Razina zvučne tablice LiTaO3 |
Aksijalni | Z rez + / - 0,2 ° | 36° Y rez / 42° Y rez / X rez (+ / - 0,2°) |
Promjer | 76,2 mm + / - 0,3 mm/ 100±0,2 mm | 76,2 mm +/- 0,3 mm 100 mm +/- 0,3 mm 0 ili 150 ± 0,5 mm |
Referentna ravnina | 22 mm +/- 2 mm | 22 mm +/- 2 mm 32 mm +/- 2 mm |
Debljina | 500um +/-5mm 1000um +/-5mm | 500um +/-20mm 350um +/-20mm |
TTV | ≤ 10 μm | ≤ 10 μm |
Curiejeva temperatura | 605 °C +/- 0,7 °C (DTA metoda) | 605 °C +/-3 °C (DTA metoda |
Kvaliteta površine | Dvostrano poliranje | Dvostrano poliranje |
Zakošeni rubovi | zaobljavanje rubova | zaobljavanje rubova |
Ključne karakteristike
1. Električne i optičke performanse
· Elektrooptički koeficijent: r33 doseže 30 pm/V (X-cut), 1,5× više od LiNbO3, omogućujući ultraširokopojasnu elektrooptičku modulaciju (propusnost >40 GHz).
· Široki spektralni odziv: Raspon prijenosa 0,4–5,0 μm (debljina 8 mm), s ultraljubičastim rubom apsorpcije do 280 nm, idealno za UV lasere i kvantne točke.
· Nizak piroelektrični koeficijent: dP/dT = 3,5 × 10⁻⁴ C/(m²·K), što osigurava stabilnost u infracrvenim senzorima visokih temperatura.
2. Toplinska i mehanička svojstva
· Visoka toplinska vodljivost: 4,6 W/m·K (X-cut), četverostruko veća od kvarca, otporna na termičke cikluse od -200 do 500 °C.
· Nizak koeficijent toplinskog širenja: CTE = 4,1 × 10⁻⁶/K (25–1000 °C), kompatibilan sa silikonskim pakiranjem radi smanjenja toplinskog naprezanja.
3. Kontrola nedostataka i preciznost obrade
· Gustoća mikrocijevi: <0,1 cm⁻² (8-inčne pločice), gustoća dislokacija <500 cm⁻² (potvrđeno jetkanjem KOH-om).
· Kvaliteta površine: CMP-polirano do Ra <0,5 nm, zadovoljava zahtjeve ravnosti EUV litografije.
Ključne primjene
Domena | Scenariji primjene | Tehničke prednosti |
Optičke komunikacije | 100G/400G DWDM laseri, hibridni moduli silicijske fotonike | Široki spektralni prijenos i niski gubici u valovodu LiTaO3 pločice (α <0,1 dB/cm) omogućuju proširenje C-pojasa. |
5G/6G komunikacije | SAW filtri (1,8–3,5 GHz), BAW-SMR filtri | Pločice s Y-rezanim kutom od 42° postižu Kt² >15%, pružajući niski uneseni gubitak (<1,5 dB) i visoki pad (>30 dB). |
Kvantne tehnologije | Detektori jednog fotona, izvori parametarske konverzije prema dolje | Visoki nelinearni koeficijent (χ(2)=40 pm/V) i niska brzina brojanja u tami (<100 brojanja/s) poboljšavaju kvantnu vjernost. |
Industrijska senzorika | Visokotemperaturni senzori tlaka, strujni transformatori | Piezoelektrični odziv LiTaO3 pločice (g33 >20 mV/m) i tolerancija na visoke temperature (>400°C) prikladni su za ekstremne uvjete. |
XKH usluge
1. Izrada pločica po narudžbi
· Veličina i rezanje: pločice od 2–8 inča s X/Y/Z-rezom, Y-rezom od 42° i prilagođenim kutnim rezovima (tolerancija ±0,01°).
· Kontrola dopiranja: dopiranje Fe, Mg Czochralskijevom metodom (raspon koncentracija 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) za optimizaciju elektrooptičkih koeficijenata i toplinske stabilnosti.
2. Napredne procesne tehnologije
· Periodično poliranje (PPLT): Smart-Cut tehnologija za LTOI pločice, postižući preciznost perioda domene od ±10 nm i kvazi-fazno usklađenu (QPM) frekvencijsku pretvorbu.
· Heterogena integracija: Kompozitne pločice (POI) od LiTaO3 na bazi Si s kontrolom debljine (300–600 nm) i toplinskom vodljivošću do 8,78 W/m·K za visokofrekventne SAW filtere.
3. Sustavi upravljanja kvalitetom
· Ispitivanje od početka do kraja: Ramanova spektroskopija (provjera politipa), XRD (kristalnost), AFM (morfologija površine) i ispitivanje optičke ujednačenosti (Δn <5×10⁻⁵).
4. Podrška globalnom lancu opskrbe
· Proizvodni kapacitet: Mjesečna proizvodnja >5.000 pločica (8 inča: 70%), s hitnom dostavom u roku od 48 sati.
· Logistička mreža: Pokrivenost u Europi, Sjevernoj Americi i azijsko-pacifičkom području putem zračnog/pomorskog prijevoza s pakiranjem kontroliranom temperaturom.


