Uzorkovana safirna podloga PSS 2 inča 4 inča 6 inča ICP suho jetkanje može se koristiti za LED čipove
Osnovna karakteristika
1. Karakteristike materijala: Materijal podloge je monokristalni safir (Al₂O₃), visoke tvrdoće, visoke otpornosti na toplinu i kemijske stabilnosti.
2. Površinska struktura: Površina se formira fotolitografijom i jetkanjem u periodične mikro-nano strukture, poput stožaca, piramida ili heksagonalnih nizova.
3. Optičke performanse: Dizajnom površinskog uzorka smanjuje se ukupna refleksija svjetlosti na granici i poboljšava se učinkovitost ekstrakcije svjetlosti.
4. Toplinske performanse: Safirna podloga ima izvrsnu toplinsku vodljivost, pogodna za primjenu u LED diodama velike snage.
5. Specifikacije veličine: Uobičajene veličine su 2 inča (50,8 mm), 4 inča (100 mm) i 6 inča (150 mm).
Glavna područja primjene
1. Proizvodnja LED dioda:
Poboljšana učinkovitost ekstrakcije svjetlosti: PSS smanjuje gubitak svjetlosti kroz dizajn uzorka, značajno poboljšavajući svjetlinu i svjetlosnu učinkovitost LED dioda.
Poboljšana kvaliteta epitaksijalnog rasta: Uzorkovana struktura pruža bolju bazu za rast GaN epitaksijalnih slojeva i poboljšava performanse LED dioda.
2. Laserska dioda (LD):
Laseri velike snage: Visoka toplinska vodljivost i stabilnost PSS-a pogodne su za laserske diode velike snage, poboljšavajući performanse i pouzdanost odvođenja topline.
Niska pragovna struja: Optimizirajte epitaksijalni rast, smanjite pragovnu struju laserske diode i poboljšajte učinkovitost.
3. Fotodetektor:
Visoka osjetljivost: Visoki prijenos svjetlosti i niska gustoća defekata PSS-a poboljšavaju osjetljivost i brzinu odziva fotodetektora.
Široki spektralni odziv: pogodan za fotoelektričnu detekciju u ultraljubičastom do vidljivom području.
4. Energetska elektronika:
Otpornost na visoki napon: Visoka izolacija i toplinska stabilnost safira pogodne su za uređaje visokog napona.
Učinkovito odvođenje topline: Visoka toplinska vodljivost poboljšava performanse odvođenja topline energetskih uređaja i produžuje vijek trajanja.
5. Radiofrekvencijski uređaji:
Visokofrekventne performanse: Niski dielektrični gubici i visoka toplinska stabilnost PSS-a pogodni su za visokofrekventne RF uređaje.
Nizak šum: Visoka ravnost i niska gustoća nedostataka smanjuju šum uređaja i poboljšavaju kvalitetu signala.
6. Biosenzori:
Detekcija visoke osjetljivosti: Visoka propusnost svjetlosti i kemijska stabilnost PSS-a pogodni su za biosenzore visoke osjetljivosti.
Biokompatibilnost: Biokompatibilnost safira čini ga pogodnim za medicinske i biodetekcijske primjene.
Uzorkovana safirna podloga (PSS) s GaN epitaksijalnim materijalom:
Uzorkovana safirna podloga (PSS) idealna je podloga za epitaksijalni rast GaN (galijev nitrid). Konstanta rešetke safira bliska je GaN-u, što može smanjiti neusklađenosti rešetke i defekte u epitaksijalnom rastu. Mikro-nano struktura PSS površine ne samo da poboljšava učinkovitost ekstrakcije svjetlosti, već i poboljšava kvalitetu kristala GaN epitaksijalnog sloja, čime se poboljšavaju performanse i pouzdanost LED-a.
Tehnički parametri
Artikal | Uzorkovana safirna podloga (2~6 inča) | ||
Promjer | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
Debljina | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
Orijentacija površine | C-ravnina (0001) izvan kuta prema M-osi (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
C-ravnina (0001) izvan kuta prema osi A (11-20) 0 ± 0,1° | |||
Primarna orijentacija stana | A-ravnina (11-20) ± 1,0° | ||
Primarna duljina ravne površine | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
R-ravnina | 9 sati | ||
Završna obrada prednje površine | Uzorkovano | ||
Završna obrada stražnje površine | SSP: Fino brušen, Ra=0,8-1,2 μm; DSP: Epi-poliran, Ra<0,3 nm | ||
Laserski mark | Stražnja strana | ||
TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
PRAMAC | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
DEFORMACIJA | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
Isključenje ruba | ≤2 mm | ||
Specifikacija uzorka | Struktura oblika | Kupola, konus, piramida | |
Visina uzorka | 1,6~1,8 μm | ||
Promjer uzorka | 2,75~2,85μm | ||
Prostor uzorka | 0,1~0,3μm |
XKH se specijalizirao za pružanje visokokvalitetnih, prilagođenih safirnih podloga (PSS) s tehničkom podrškom i postprodajnom uslugom kako bi pomogao kupcima u postizanju učinkovitih inovacija u području LED dioda, zaslona i optoelektronike.
1. Visokokvalitetna PSS opskrba: Uzorkovane safirne podloge u raznim veličinama (2", 4", 6") za potrebe LED, zaslona i optoelektroničkih uređaja.
2. Prilagođeni dizajn: Prilagodite površinsku mikro-nano strukturu (kao što su konus, piramida ili heksagonalni niz) prema potrebama kupca kako biste optimizirali učinkovitost ekstrakcije svjetlosti.
3. Tehnička podrška: Pružanje dizajna PSS aplikacija, optimizacije procesa i tehničkih konzultacija kako bi se kupcima pomoglo u poboljšanju performansi proizvoda.
4. Potpora epitaksijalnom rastu: PSS usklađen s GaN epitaksijalnim materijalom osigurava visokokvalitetni rast epitaksijalnog sloja.
5. Ispitivanje i certificiranje: Izvršiti inspekciju kvalitete PSS-a kako bi se osiguralo da proizvodi zadovoljavaju industrijske standarde.
Detaljan dijagram


