SiC keramička viljuškasta ruka / krajnji efektor – napredno precizno rukovanje za proizvodnju poluvodiča

Kratki opis:

SiC keramička viličasta ruka, često nazivana keramičkim krajnjim efektorom, visokoučinkovita je komponenta za precizno rukovanje posebno razvijena za transport, poravnavanje i pozicioniranje pločica u visokotehnološkim industrijama, posebno u proizvodnji poluvodiča i fotonaponskih sustava. Izrađena korištenjem visokočiste silicij-karbidne keramike, ova komponenta kombinira iznimnu mehaničku čvrstoću, ultranisko toplinsko širenje i vrhunsku otpornost na toplinske udare i koroziju.

Pošaljite nam e-poštu

Značajke

Detaljan dijagram

Pregled proizvoda

Za razliku od tradicionalnih krajnjih efektora izrađenih od aluminija, nehrđajućeg čelika ili čak kvarca, keramički krajnji efektori SiC nude neusporedive performanse u vakuumskim komorama, čistim sobama i teškim uvjetima obrade, što ih čini ključnim dijelom robota za rukovanje pločicama sljedeće generacije. S rastućom potražnjom za proizvodnjom bez kontaminacije i strožim tolerancijama u proizvodnji čipova, upotreba keramičkih krajnjih efektora brzo postaje industrijski standard.

Princip proizvodnje

IzradaSiC keramički krajnji efektoriuključuje niz visokopreciznih procesa visoke čistoće koji osiguravaju i performanse i trajnost. Obično se koriste dva glavna procesa:

Reakcijski vezani silicijev karbid (RB-SiC)

U ovom procesu, predoblik izrađen od praha silicijevog karbida i veziva infiltrira se rastaljenim silicijem na visokim temperaturama (~1500 °C), koji reagira s preostalim ugljikom i stvara gusti, kruti SiC-Si kompozit. Ova metoda nudi izvrsnu kontrolu dimenzija i isplativa je za proizvodnju velikih razmjera.

Sinterirani silicijev karbid bez tlaka (SSiC)

SSiC se proizvodi sinteriranjem ultrafinog, visokočistog SiC praha na izuzetno visokim temperaturama (>2000°C) bez upotrebe aditiva ili vezivne faze. To rezultira proizvodom s gotovo 100%-tnom gustoćom i najvišim mehaničkim i toplinskim svojstvima dostupnim među SiC materijalima. Idealan je za ultrakritične primjene rukovanja pločicama.

Naknadna obrada

Precizna CNC obradaPostiže visoku ravnost i paralelnost.
Površinska obradaDijamantno poliranje smanjuje hrapavost površine na <0,02 µm.
InspekcijaZa provjeru svakog komada koriste se optička interferometrija, CMM i nerazorna ispitivanja.

Ovi koraci jamče da ćeSiC krajnji efektorpruža konzistentnu točnost postavljanja pločice, izvrsnu planarnost i minimalno stvaranje čestica.

Ključne značajke i prednosti

Značajka	Opis
Ultra visoka tvrdoća	Tvrdoća po Vickersu > 2500 HV, otporna na habanje i krhotine.
Nisko toplinsko širenje	CTE ~4,5×10⁻⁶/K, što omogućuje dimenzijsku stabilnost pri termičkom cikliranju.
Kemijska inertnost	Otporno na HF, HCl, plazma plinove i druge korozivne agense.
Izvrsna otpornost na toplinske udare	Pogodno za brzo zagrijavanje/hlađenje u vakuumskim i pećnim sustavima.
Visoka krutost i čvrstoća	Podržava duge konzolne vilice bez otklona.
Nisko ispuštanje plinova	Idealno za okruženja ultra visokog vakuuma (UHV).
Spremno za čiste sobe ISO klase 1	Rad bez čestica osigurava integritet pločice.

Primjene

SiC keramička vilica/krajnji efektor široko se koristi u industrijama koje zahtijevaju ekstremnu preciznost, čistoću i kemijsku otpornost. Ključni scenariji primjene uključuju:

Proizvodnja poluvodiča

Utovar/istovar pločica u sustavima taloženja (CVD, PVD), jetkanja (RIE, DRIE) i čišćenja.
Robotski transport pločica između FOUP-ova, kaseta i procesnih alata.
Rukovanje na visokim temperaturama tijekom termičke obrade ili žarenja.

Proizvodnja fotonaponskih ćelija

Delikatan transport krhkih silicijskih pločica ili solarnih supstrata u automatiziranim linijama.

Industrija ravnih panela (FPD)

Premještanje velikih staklenih ploča ili podloga u OLED/LCD proizvodnim okruženjima.

Složeni poluvodič / MEMS

Koristi se u proizvodnim linijama GaN, SiC i MEMS gdje su kontrola kontaminacije i točnost pozicioniranja ključni.

Njegova uloga krajnjeg efektora posebno je važna u osiguravanju stabilnog rukovanja bez grešaka tijekom osjetljivih operacija.

Mogućnosti prilagodbe

Nudimo širok raspon prilagodbi kako bismo zadovoljili različite zahtjeve opreme i procesa:

Dizajn viliceRasporedi s dva kraka, više prstiju ili na dvije razine.
Kompatibilnost veličine pločiceOd 2” do 12” pločica.
Montažna sučeljaKompatibilno s OEM robotskim rukama.
Tolerancije debljine i površineDostupna je ravnost na razini mikrona i zaobljavanje rubova.
Značajke protiv klizanjaOpcionalne površinske teksture ili premazi za sigurno prianjanje pločice.

Svakikeramički krajnji efektorje dizajniran u suradnji s klijentima kako bi se osigurala precizna prilagodba uz minimalne promjene alata.

Često postavljana pitanja (FAQ)

P1: Po čemu je SiC bolji od kvarca za primjenu u krajnjem efektoru?
A1:Iako se kvarc često koristi zbog svoje čistoće, nedostaje mu mehanička žilavost i sklon je lomljenju pod opterećenjem ili temperaturnim šokom. SiC nudi vrhunsku čvrstoću, otpornost na habanje i toplinsku stabilnost, značajno smanjujući rizik od zastoja i oštećenja pločice.

P2: Je li ova keramička vilica kompatibilna sa svim robotskim rukovateljima pločicama?
A2:Da, naši keramički krajnji efektori kompatibilni su s većinom glavnih sustava za rukovanje pločicama i mogu se prilagoditi vašim specifičnim robotskim modelima s preciznim inženjerskim crtežima.

P3: Može li obraditi pločice od 300 mm bez savijanja?
A3:Apsolutno. Visoka krutost SiC-a omogućuje čak i tankim, dugim krakovima vilice da sigurno drže pločice od 300 mm bez savijanja ili otklona tijekom kretanja.

P4: Koliki je tipičan vijek trajanja SiC keramičkog krajnjeg efektora?
A4:Uz pravilnu upotrebu, SiC krajnji efektor može trajati 5 do 10 puta dulje od tradicionalnih kvarcnih ili aluminijskih modela, zahvaljujući izvrsnoj otpornosti na toplinska i mehanička naprezanja.

P5: Nudite li zamjene ili usluge brze izrade prototipa?
A5:Da, podržavamo brzu proizvodnju uzoraka i nudimo usluge zamjene na temelju CAD crteža ili dijelova dobivenih reverznim inženjeringom s postojeće opreme.

O nama

XKH se specijalizirao za visokotehnološki razvoj, proizvodnju i prodaju posebnog optičkog stakla i novih kristalnih materijala. Naši proizvodi služe optičkoj elektronici, potrošačkoj elektronici i vojsci. Nudimo safirne optičke komponente, poklopce za leće mobilnih telefona, keramiku, LT, silicijev karbid SIC, kvarc i poluvodičke kristalne pločice. S vještim znanjem i najsuvremenijom opremom, ističemo se u obradi nestandardnih proizvoda, s ciljem da postanemo vodeće visokotehnološko poduzeće u području optoelektroničkih materijala.