SiC keramička grafitna ploča s CVD SiC premazom za opremu

Grafitna grafitna ploča od SiC keramičke ploče s CVD SiC premazom za opremu Istaknuta slika

Kratki opis:

Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd. proizvodi Φ380mm–Φ600mm poluvodički disk za jetkanje, disk s ležajem od pločice, ladicu od silicij-karbida, SIC ladicu, ladicu od silicij-karbida, ICP ladicu za jetkanje, ladicu za jetkanje, čistoću silicij-karbida > 99,9%, vijek trajanja SIC ladice je četiri puta veća od CVD ladice na bazi grafita, dugotrajna uporaba bez deformacija, Otporan na FH kiselinu, koncentriranu H2So4 koroziju.

Pošaljite nam e-poštu

Pojedinosti o proizvodu

Oznake proizvoda

Keramika od silicij-karbida ne koristi se samo u fazi taloženja tankog filma, kao što je epitaksija ili MOCVD, ili u obradi pločica, u središtu čega se ladice nosača pločica za MOCVD prvo podvrgavaju okruženju za taloženje, te su stoga vrlo otporne na topline i korozije. Nosači obloženi SiC-om također imaju visoku toplinsku vodljivost i izvrsna svojstva raspodjele topline.

Nosači pločica od čistog kemijskog taloženja para od silicij karbida (CVD SiC) za obradu metalnih organskih kemijskih para (MOCVD) na visokim temperaturama.

Nosači pločica od čistog CVD SiC-a znatno su bolji od konvencionalnih nosača pločica korištenih u ovom procesu, koji su grafitni i presvučeni slojem CVD SiC-a.ovi presvučeni nosači na bazi grafita ne mogu izdržati visoke temperature (1100 do 1200 stupnjeva Celzijusa) potrebne za taloženje GaN današnjih plavih i bijelih led svjetlina visoke svjetline.Visoke temperature uzrokuju stvaranje sitnih rupica na premazu kroz koje procesne kemikalije nagrizaju grafit ispod.Čestice grafita se zatim ljušte i onečišćuju GaN, uzrokujući zamjenu obloženog nosača vafera.

CVD SiC ima čistoću od 99,999% ili više i ima visoku toplinsku vodljivost i otpornost na toplinski udar.Stoga može izdržati visoke temperature i oštra okruženja proizvodnje LED dioda visoke svjetline.To je čvrsti monolitni materijal koji doseže teoretsku gustoću, proizvodi minimalne čestice i pokazuje vrlo visoku otpornost na koroziju i eroziju.Materijal može promijeniti neprozirnost i vodljivost bez unošenja metalnih nečistoća.Nosači vafla obično su promjera 17 inča i mogu primiti do 40 vafla od 2-4 inča.