Konzolna lopatica od silicijevog karbida (SiC konzolna lopatica)

Istaknuta slika konzolne lopatice od silicijevog karbida (SiC konzolne lopatice)

Kratki opis:

Pošaljite nam e-poštu

Značajke

Detaljan dijagram

Pregled proizvoda

Konzolna lopatica od silicijevog karbida, proizvedena od visokoučinkovitog reakcijski vezanog silicijevog karbida (RBSiC), ključna je komponenta koja se koristi u sustavima za utovar i rukovanje pločicama za poluvodičke i fotonaponske primjene.
U usporedbi s tradicionalnim kvarcnim ili grafitnim lopaticama, SiC konzolne lopatice nude vrhunsku mehaničku čvrstoću, visoku tvrdoću, nisko toplinsko širenje i izvanrednu otpornost na koroziju. Održavaju izvrsnu strukturnu stabilnost pri visokim temperaturama, zadovoljavajući stroge zahtjeve velikih veličina pločica, produljenog vijeka trajanja i ultra niske kontaminacije.

S kontinuiranim razvojem poluvodičkih procesa prema većim promjerima pločica, većoj propusnosti i čišćim procesnim okruženjima, SiC konzolne lopatice postupno su zamijenile konvencionalne materijale, postajući preferirani izbor za difuzijske peći, LPCVD i srodnu visokotemperaturnu opremu.

Značajke proizvoda

Izvrsna stabilnost na visokim temperaturama
- Pouzdano radi na 1000–1300℃ bez deformacija.
- Maksimalna radna temperatura do 1380℃.
Visoka nosivost
- Čvrstoća na savijanje do 250–280 MPa, znatno veća od kvarcnih lopatica.
- Sposoban za rukovanje pločicama velikog promjera (300 mm i više).
Produženi vijek trajanja i minimalno održavanje
- Nizak koeficijent toplinskog širenja (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), dobro usklađen s LPCVD premaznim materijalima.
- Smanjuje pukotine i ljuštenje uzrokovano naprezanjem, značajno produžujući cikluse čišćenja i održavanja.
Otpornost na koroziju i čistoća
- Izvrsna otpornost na kiseline i lužine.
- Gusta mikrostruktura s otvorenom poroznošću <0,1%, što minimizira stvaranje čestica i oslobađanje nečistoća.
Dizajn kompatibilan s automatizacijom
- Stabilna geometrija poprečnog presjeka s visokom dimenzijskom točnošću.
- Besprijekorno se integrira s robotskim sustavima za utovar i istovar pločica, omogućujući potpuno automatiziranu proizvodnju.

Fizikalna i kemijska svojstva

Artikal	Jedinica	Podaci
Maks. radna temperatura	℃	1380. godine
Gustoća	g/cm³	3,04 – 3,08
Otvorena poroznost	%	< 0,1
Čvrstoća na savijanje	MPa	250 (20℃), 280 (1200℃)
Modul elastičnosti	Prosječni prosjek ocjena (GPA)	330 (20℃), 300 (1200℃)
Toplinska vodljivost	W/m·K	45 (1200℃)
Koeficijent toplinskog širenja	K⁻¹×10⁻⁶	4,5
Tvrdoća po Vickersu	HV2	≥ 2100
Otpornost na kiseline/lužine	-	Izvrsno

Standardne duljine:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
Prilagođene dimenzije dostupne na zahtjev

Primjene

Poluvodička industrija
- LPCVD (kemijsko taloženje iz parne faze niskog tlaka)
- Difuzijski procesi (fosfor, bor, itd.)
- Termička oksidacija
Fotonaponska industrija
- Difuzija i premazivanje polisilicijskih i monokristalnih pločica
- Visokotemperaturno žarenje i pasivizacija
Ostala polja
- Korozivna okruženja visokih temperatura
- Precizni sustavi za rukovanje pločicama koji zahtijevaju dugi vijek trajanja i nisku razinu kontaminacije

Pogodnosti za korisnike

Smanjeni operativni troškovi– Dulji vijek trajanja u usporedbi s kvarcnim lopaticama, što smanjuje vrijeme zastoja i učestalost zamjene.
Veći prinos– Iznimno niska kontaminacija osigurava čistoću površine pločice i smanjuje stopu nedostataka.
Spreman za budućnost– Kompatibilno s velikim veličinama pločica i poluvodičkim procesima sljedeće generacije.
Poboljšana produktivnost– Potpuno kompatibilan s robotskim sustavima automatizacije, podržavajući proizvodnju velikih količina.

Često postavljana pitanja – Konzolna lopatica od silicijevog karbida

P1: Što je konzolna lopatica od silicij-karbida?
A: To je komponenta za nosač i rukovanje pločicom izrađena od reakcijski vezanog silicijevog karbida (RBSiC). Široko se koristi u difuzijskim pećima, LPCVD-u i drugim visokotemperaturnim poluvodičkim i fotonaponskim procesima.

P2: Zašto odabrati SiC umjesto kvarcnih lopatica?
A: U usporedbi s kvarcnim lopaticama, SiC lopatice nude:

Veća mehanička čvrstoća i nosivost
Bolja toplinska stabilnost na temperaturama do 1380℃
Mnogo dulji vijek trajanja i smanjeni ciklusi održavanja
Manji rizik od stvaranja čestica i kontaminacije
Kompatibilnost s većim veličinama pločica (300 mm i više)

P3: Koje veličine pločica može podržati SiC konzolna lopatica?
A: Standardne lopatice dostupne su za sustave peći od 2378 mm, 2550 mm i 2660 mm. Dostupne su prilagođene dimenzije za podršku pločicama do 300 mm i više.

O nama

XKH se specijalizirao za visokotehnološki razvoj, proizvodnju i prodaju posebnog optičkog stakla i novih kristalnih materijala. Naši proizvodi služe optičkoj elektronici, potrošačkoj elektronici i vojsci. Nudimo safirne optičke komponente, poklopce za leće mobilnih telefona, keramiku, LT, silicijev karbid SIC, kvarc i poluvodičke kristalne pločice. S vještim znanjem i najsuvremenijom opremom, ističemo se u obradi nestandardnih proizvoda, s ciljem da postanemo vodeće visokotehnološko poduzeće u području optoelektroničkih materijala.