Silikonska karbidna keramička posuda za usisavanje, silicijsko-karbidna keramička cijev, silikonsko-karbidna keramička cijev, visokotemperaturno sinteriranje, prilagođena obrada

Kratki opis:

Keramička posuda od silicij-karbida i keramičke cijevi od silicij-karbida nezamjenjivi su visokoučinkoviti materijali u proizvodnji poluvodiča. Keramička posuda od silicij-karbida uglavnom se koristi u obradi pločica, fiksnim i ležajnim dijelovima, kako bi se osigurala stabilnost visokopreciznih procesa; keramičke cijevi od silicij-karbida široko se koriste u cijevima za visokotemperaturne peći, cijevima za difuzijske peći i drugim scenarijima kako bi izdržale ekstremne uvjete i održale učinkovito upravljanje toplinom. Obje se temelje na silicij-karbidu kao jezgri, koji je postao ključna komponenta u industriji poluvodiča zbog svojih izvrsnih fizikalnih i kemijskih svojstava.

Pošaljite nam e-poštu

Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

Glavne značajke:

1. Keramička posuda od silicij-karbida
- Visoka tvrdoća i otpornost na habanje: tvrdoća je bliska dijamantu i može dugo izdržati mehaničko habanje pri obradi pločica.
- Visoka toplinska vodljivost i nizak koeficijent toplinskog širenja: brzo odvođenje topline i dimenzijska stabilnost, izbjegavajući deformacije uzrokovane toplinskim naprezanjem.
- Visoka ravnost i završna obrada površine: Ravnost površine je do mikronske razine, što osigurava potpuni kontakt između pločice i diska, smanjujući kontaminaciju i oštećenja.
Kemijska stabilnost: Jaka otpornost na koroziju, pogodno za mokro čišćenje i procese jetkanja u proizvodnji poluvodiča.
2. Keramička cijev od silicij-karbida
- Otpornost na visoke temperature: Može raditi u okruženju s visokim temperaturama iznad 1600°C dulje vrijeme, pogodno za poluvodičke visokotemperaturne procese.
Izvrsna otpornost na koroziju: otporna na kiseline, lužine i razne kemijske otopine, pogodna za teške procesne uvjete.
- Visoka tvrdoća i otpornost na habanje: otporne su na eroziju čestica i mehaničko habanje, produžuju vijek trajanja.
- Visoka toplinska vodljivost i nizak koeficijent toplinskog širenja: brzo provođenje topline i dimenzijska stabilnost, smanjujući deformacije ili pucanje uzrokovano toplinskim naprezanjem.

Parametar proizvoda:

Parametar keramičke ladice od silicij-karbida:

(Materijalna imovina)		(Jedinica)	(sic)
(Sadržaj SiC-a)		(tež.)%	>99
(Prosječna veličina zrna)		mikron	4-10
(Gustoća)		kg/dm3	>3,14
(Prividna poroznost)		Vo1%	<0,5
(Vickersova tvrdoća)	VV 0,5	Prosječni prosjek ocjena (GPA)	28
() Fleksibilna čvrstoća (tri boda)	20ºC	MPa	450
(Tlačna čvrstoća)	20ºC	MPa	3900
(Modul elastičnosti)	20ºC	Prosječni prosjek ocjena (GPA)	420
(Žilavost na lom)		MPa/m'%	3,5
(Toplinska vodljivost)	20°C	W/(m*K)	160
(Otpornost)	20°C	Ohm.cm	106-108
(Koeficijent toplinskog širenja)	a(RT**...80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Maksimalna radna temperatura)		°C	1700. godine

Parametar keramičke cijevi od silicij-karbida:

Stavke	Indeks
α-SIC	99% min.
Prividna poroznost	16% maksimalno
Gustoća nasipnog materijala	2,7 g/cm3 min
Čvrstoća na savijanje pri visokoj temperaturi	100 MPa min.
Koeficijent toplinskog širenja	K-1 4,7x10 -6
Koeficijent toplinske vodljivosti (1400ºC)	24 W/mk
Maks. radna temperatura	1650ºC

Glavne primjene:

1. Keramička ploča od silicij-karbida
- Rezanje i poliranje pločica: služi kao ležajna platforma kako bi se osigurala visoka preciznost i stabilnost tijekom rezanja i poliranja.
- Litografski postupak: Pločica se fiksira u litografskom stroju kako bi se osiguralo visoko precizno pozicioniranje tijekom ekspozicije.
- Kemijsko-mehaničko poliranje (CMP): djeluje kao potporna platforma za polirajuće jastučiće, osiguravajući ravnomjeran pritisak i raspodjelu topline.
2. Keramička cijev od silicij-karbida
- Cijev za visokotemperaturnu peć: koristi se za opremu za visoke temperature kao što su difuzijske peći i oksidacijske peći za nošenje pločica za visokotemperaturnu obradu.
- CVD/PVD postupak: Kao ležajna cijev u reakcijskoj komori, otporna na visoke temperature i korozivne plinove.
- Pribor za poluvodičku opremu: za izmjenjivače topline, plinovode itd., za poboljšanje učinkovitosti upravljanja toplinom opreme.
XKH nudi cijeli niz prilagođenih usluga za keramičke pladnjeve, vakuumske čašice i keramičke cijevi od silicij-karbida. Keramičke pladnjeve i vakuumske čašice od silicij-karbida, XKH, mogu se prilagoditi prema zahtjevima kupaca različitih veličina, oblika i hrapavosti površine, te podržavaju posebnu obradu premaza, poboljšavaju otpornost na habanje i otpornost na koroziju; Za keramičke cijevi od silicij-karbida, XKH može prilagoditi različite unutarnje promjere, vanjske promjere, duljine i složene strukture (kao što su oblikovane cijevi ili porozne cijevi), te osigurati poliranje, antioksidacijski premaz i druge procese obrade površine. XKH osigurava da kupci mogu u potpunosti iskoristiti prednosti performansi keramičkih proizvoda od silicij-karbida kako bi zadovoljili zahtjevne zahtjeve vrhunskih proizvodnih područja kao što su poluvodiči, LED diode i fotonaponski sustavi.