Silikonski karbidni keramički pladanj Silicon Carbid Keramička cijev Navođenje visoke temperature sintering prilagođena obrada

Silikonski karbidni keramički pladanj Silicijski karbid keramička cijev Navođenje visoke temperature sintering prilagođena obrada istaknuta slika

Kratki opis:

Keramička pladnja za silicij-karbid i silicijski karbidni keramičke cijevi neophodni su materijali visokih performansi u proizvodnji poluvodiča. Silikonski karbidni keramička ladica uglavnom se koristi u fiksnom i ležaju za obradu vafla kako bi se osigurala stabilnost postupka visoke preciznosti; Ceramičke cijevi silikonskih karbida naširoko se koriste u epruvetama s visokim temperaturama, cijevima za difuzijske peći i drugim scenarijima kako bi izdržale ekstremna okruženja i održavala učinkovito toplinsko upravljanje. Oboje se temelje na silicijum karbidu kao osnovnom materijalu, koji je postao ključna komponenta u industriji poluvodiča zbog izvrsnih fizičkih i kemijskih svojstava.

Pošaljite nam e -poštu

Detalj proizvoda

Oznake proizvoda

Glavne značajke:

1. Silikonski karbidni keramička ladica
- visoka tvrdoća i otpornost na habanje: tvrdoća je blizu dijamanta i može dugo izdržati mehaničko trošenje u obradi vafera.
- Visoka toplinska vodljivost i nizak koeficijent toplinske ekspanzije: brza raspršivanje topline i stabilnost dimenziona, izbjegavajući deformaciju uzrokovanu toplinskim naponom.
- Visoka ravna i površinska završna obrada: Površina je do razine mikrona, osiguravajući puni kontakt između vafera i diska, smanjujući onečišćenje i oštećenja.
Kemijska stabilnost: snažna otpornost na koroziju, pogodna za procese mokro čišćenje i jetkanje u proizvodnji poluvodiča.
2. Silikonski karbidni keramička cijev
- Visoko temperaturni otpor: može dugo raditi u okruženju visoke temperature iznad 1600 ° C, pogodno za poluvodički proces visoke temperature.
Izvrsna otpornost na koroziju: otporna na kiseline, alkalije i razna kemijska otapala, pogodna za teška procesna okruženja.
- Visoka tvrdoća i otpornost na habanje: Oduprite se eroziji čestica i mehaničkom trošenju, produženi vijek trajanja.
- Visoka toplinska vodljivost i nizak koeficijent toplinske ekspanzije: brzo provođenje topline i dimenzionalne stabilnosti, smanjujući deformaciju ili pucanje uzrokovano toplinskim naponom.

Parametar proizvoda:

Parametar keramičke ladice silikonskog karbida:

(Materijalno svojstvo)		(Jedinica)	(SSIC)
(SIC sadržaj)		(Wt)%	> 99
(Prosječna veličina zrna)		mikron	4-10
(Gustoća)		kg/dm3	> 3.14
(Prividna poroznost)		VO1%	<0,5
(Vickersova tvrdoća)	HV 0,5	GPA	28
() Snaga savijanja (tri točke)	20 ° C	MPA	450
(Čvrstoća na pritisak)	20 ° C	MPA	3900
(Elastični modul)	20 ° C	GPA	420
(Žilavost loma)		MPA/M '%	3.5
(Toplinska vodljivost)	20 ° ºC	W/(m*k)	160
(Otpornost)	20 ° ºC	Ohm.cm	106-108
(Koeficijent toplinske ekspanzije)	A (RT ** ... 80 ° C)	K-1*10-6	4.3
(Maksimalna radna temperatura)		OºC	1700

Parametar keramičke cijevi silikonskog karbida:

Predmeti	Indeks
α-sic	99% min
Očigledna poroznost	16% max
Gustoća	2,7 g/cm3 min
Čvrstoća savijanja na visokoj temperaturi	100 MPa min
Koeficijent toplinske ekspanzije	K -1 4.7x10 -6
Koeficijent toplinske vodljivosti (1400 ° C)	24 W/MK
Maksimum Radna temperatura	1650 ° C

Glavne aplikacije:

1. Silicij -karbidna keramička ploča
- Rezanje i poliranje rezanja: služi kao platforma za ležaj kako bi se osigurala visoka preciznost i stabilnost tijekom rezanja i poliranja.
- Proces litografije: Wafer je fiksiran u stroju za litografiju kako bi se osiguralo visoko precizno pozicioniranje tijekom izlaganja.
- Kemijsko mehaničko poliranje (CMP): djeluje kao potporna platforma za poliranje jastučića, pružajući jednoliku distribuciju tlaka i topline.
2. Silikonski karbidni keramička cijev
- Cijev za visoku temperaturu: Koristi se za opremu s visokim temperaturama, kao što su difuzijska peć i oksidacijska peć za nošenje vafera za obradu visoko temperaturnih procesa.
- CVD/PVD postupak: Kao cijev ležaja u reakcijskoj komori, otporna na visoke temperature i korozivne plinove.
- Pribor za poluvodičke opreme: Za izmjenjivače topline, plinovode itd. Za poboljšanje učinkovitosti toplinskog upravljanja opremom.
XKH nudi čitav niz prilagođenih usluga za keramičke ladice od silikonskog karbida, usisne šalice i keramičke cijevi silikonskih karbida. Silikonski karbidni keramički ladici i usisne čaše, XKH se mogu prilagoditi prema zahtjevima kupca različitih veličina, oblika i hrapavosti površine, te podržavaju poseban tretman premaza, povećavaju otpornost na habanje i otpornost na koroziju; Za keramičke cijevi od silicij-karbida, XKH može prilagoditi različite unutarnjeg promjera, vanjskog promjera, duljine i složene strukture (poput oblikovane cijevi ili porozne cijevi) i osigurati poliranje, antioksidacijsku i drugu procesu površinskog obrade. XKH osigurava da kupci mogu u potpunosti iskoristiti prednosti performansi keramičkih proizvoda od silicij-karbida kako bi ispunili zahtjevne zahtjeve vrhunskih proizvodnih polja kao što su poluvodiči, LED i fotonaponski.