Silicijum-karbidna SiC keramička vilica/ruka za kritične sustave rukovanja
Detaljan dijagram


Uvođenje silicij-karbidne keramičke vilice/ruke
TheRuka/ruka vilice od silicijevog karbida i keramikeje vrhunska komponenta razvijena za naprednu industrijsku automatizaciju, obradu poluvodiča i ultra čista okruženja. Njegova prepoznatljiva viličasta arhitektura i ultra ravna keramička površina čine ga idealnim za rukovanje osjetljivim podlogama, uključujući silicijske pločice, staklene ploče i optičke uređaje. Precizno konstruiran i proizveden od ultra čistog silicijevog karbida,Ruka/ruka vilice od silicijevog karbida i keramikenudi neusporedivu mehaničku čvrstoću, toplinsku pouzdanost i kontrolu kontaminacije.
Za razliku od konvencionalnih metalnih ili plastičnih krakova,Ruka/ruka vilice od silicijevog karbida i keramikePruža stabilne performanse u ekstremnim toplinskim, kemijskim i vakuumskim uvjetima. Bez obzira radi li se u čistoj sobi klase 1 ili unutar plazma komore visokog vakuuma, ova komponenta osigurava siguran, učinkovit i transport vrijednih dijelova bez ostataka.
Sa strukturom prilagođenom robotskim rukama, rukovateljima pločicama i alatima za automatizirani prijenos,Ruka/ruka vilice od silicijevog karbida i keramikeje pametna nadogradnja za bilo koji visokoprecizni sustav.


Proces proizvodnje vilice/ruke od silicijevog karbida
Izrada visokoučinkovitogRuka/ruka vilice od silicijevog karbida i keramikeuključuje strogo kontroliran tijek rada u keramičkom inženjerstvu koji osigurava ponovljivost, pouzdanost i ultra niske stope grešaka.
1. Inženjerstvo materijala
U izradi se koristi samo prah silicij-karbida ultra visoke čistoćeRuka/ruka vilice od silicijevog karbida i keramike, što osigurava nisku ionsku kontaminaciju i visoku čvrstoću u rasutom stanju. Praškovi se precizno miješaju s aditivima za sinteriranje i vezivima kako bi se postigla optimalna gustoća.
2. Formiranje osnovne strukture
Osnovna geometrijaruka/ruka vilicese oblikuje hladnim izostatskim prešanjem ili injekcijskim prešanjem, što osigurava visoku gustoću sirovog materijala i jednoliku raspodjelu naprezanja. Konfiguracija u obliku slova U optimizirana je za omjer krutosti i težine te dinamički odziv.
3. Proces sinteriranja
Zeleno tijeloRuka/ruka vilice od silicijevog karbida i keramikesinterira se u visokotemperaturnoj peći s inertnim plinom na temperaturi većoj od 2000 °C. Ovaj korak osigurava gustoću gotovo teoretsku, stvarajući komponentu koja je otporna na pucanje, savijanje i dimenzijska odstupanja pod stvarnim toplinskim opterećenjima.
4. Precizno brušenje i obrada
Napredni CNC dijamantni alati koriste se za oblikovanje konačnih dimenzijaRuka/ruka vilice od silicijevog karbida i keramikeUske tolerancije (±0,01 mm) i glatka površina smanjuju oslobađanje čestica i mehaničko naprezanje.
5. Površinsko kondicioniranje i čišćenje
Završna površinska obrada uključuje kemijsko poliranje i ultrazvučno čišćenje za pripremuruka/ruka viliceza izravnu integraciju u ultra-čiste sustave. Dostupni su i opcionalni premazi (CVD-SiC, antirefleksni slojevi).
Ovaj pedantan proces jamči da svakiRuka/ruka vilice od silicijevog karbida i keramikezadovoljava najstrože industrijske standarde, uključujući SEMI i ISO zahtjeve za čiste sobe.
Parametri vilice/ruke od silicijevog karbida
Artikal | Uvjeti ispitivanja | Podaci | Jedinica |
Sadržaj silicijevog karbida | / | >99,5 | % |
Prosječna veličina zrna | / | 4-10 | mikron |
Gustoća | / | >3,14 | g/cm3 |
Prividna poroznost | / | <0,5 | Vol % |
Tvrdoća po Vickersu | HV0.5 | 2800 | kg/mm2 |
Modul loma (3 boda) | Veličina ispitne šipke: 3 x 4 x 40 mm | 450 | MPa |
Kompresijska čvrstoća | 20°C | 3900 | MPa |
Modul elastičnosti | 20°C | 420 | Prosječni prosjek ocjena (GPA) |
Žilavost na lom | / | 3,5 | MPa/m1/2 |
Toplinska vodljivost | 20°C | 160 | W/(mK) |
Električna otpornost | 20°C | 106-108 | Ωcm |
Koeficijent toplinskog širenja | 20°C-800°C | 4.3 | K-110-6 |
Maks. temperatura primjene | Oksidna atmosfera | 1600 | °C |
Maks. temperatura primjene | Inertna atmosfera | 1950. | °C |
Primjena silicij-karbidne keramičke vilice/ruke
TheRuka/ruka vilice od silicijevog karbida i keramikeje dizajniran za upotrebu u visokopreciznim, visokorizičnim i na kontaminaciju osjetljivim primjenama. Omogućuje pouzdano rukovanje, prijenos ili podršku kritičnih komponenti bez ikakvih kompromisa.
➤ Poluvodička industrija
-
Koristi se kao robotska vilica u prednjim stanicama za prijenos pločica i FOUP stanicama.
-
Integrirano u vakuumske komore za plazma jetkanje i PVD/CVD procese.
-
Služi kao nosač u metrologiji i alatima za poravnavanje pločica.
TheRuka/ruka vilice od silicijevog karbida i keramikeeliminira rizike elektrostatičkog pražnjenja (ESD), podržava dimenzijsku preciznost i otporan je na koroziju plazmom.
➤ Fotonika i optika
-
Podržava osjetljive leće, laserske kristale i senzore tijekom izrade ili inspekcije.
Njegova visoka krutost sprječava vibracije, dok keramičko tijelo odolijeva kontaminaciji optičkih površina.
➤ Proizvodnja displeja i panela
-
Rukuje tankim staklom, OLED modulima i LCD podlogama tijekom transporta ili inspekcije.
Ravno i kemijski inertnoRuka/ruka vilice od silicijevog karbida i keramikeštiti od grebanja ili kemijskog nagrizanja.
➤ Zrakoplovni i znanstveni instrumenti
-
Koristi se u montaži satelitske optike, vakuumskoj robotici i postavkama sinkrotronskih snopova.
Besprijekorno radi u čistim sobama svemirske klase i okruženjima sklonim zračenju.
U svakom polju,Ruka/ruka vilice od silicijevog karbida i keramikepovećava učinkovitost sustava, smanjuje kvarove dijelova i minimizira vrijeme zastoja.

ČPP – Često postavljana pitanja o vilici od silicijevog karbida i keramici
P1: Što čini ruku/ruku vilice od silicij-karbidne keramike boljom od metalnih alternativa?
TheRuka/ruka vilice od silicijevog karbida i keramikeIma vrhunsku tvrdoću, nižu gustoću, bolju kemijsku otpornost i znatno manje toplinsko širenje od metala. Također je kompatibilan s čistim sobama i ne korodira ili ne stvara čestice.
P2: Mogu li zatražiti prilagođene dimenzije za moju keramičku vilicu/ruku od silicijskog karbida?
Da. Nudimo potpunu prilagodbu, uključujući širinu vilice, debljinu, rupe za montažu, izreze i površinsku obradu. Bilo da se radi o pločicama od 6", 8" ili 12", vašeruka/ruka vilicemože se prilagoditi po mjeri.
P3: Koliko dugo traje keramička vilica/ruka od silicijevog karbida pod plazmom ili vakuumom?
Zahvaljujući SiC materijalu visoke gustoće i inertnoj prirodi,ruka/ruka viliceostaje funkcionalan čak i nakon tisuća procesnih ciklusa. Pokazuje minimalno trošenje pod agresivnim toplinskim opterećenjima plazme ili vakuuma.
P4: Je li proizvod prikladan za čiste prostorije ISO klase 1?
Apsolutno.Ruka/ruka vilice od silicijevog karbida i keramikeproizvodi se i pakira u certificiranim čistim sobama, s razinama čestica znatno ispod zahtjeva ISO klase 1.
P5: Koja je maksimalna radna temperatura za ovu vilicu/krak?
TheRuka/ruka vilice od silicijevog karbida i keramikeMože kontinuirano raditi na temperaturama do 1500°C, što ga čini prikladnim za izravnu upotrebu u visokotemperaturnim procesnim komorama i termalnim vakuumskim sustavima.
Ova često postavljana pitanja odražavaju najčešće tehničke nedoumice inženjera, voditelja laboratorija i sistemskih integratora koji koristeRuka/ruka vilice od silicijevog karbida i keramike.
O nama
XKH se specijalizirao za visokotehnološki razvoj, proizvodnju i prodaju posebnog optičkog stakla i novih kristalnih materijala. Naši proizvodi služe optičkoj elektronici, potrošačkoj elektronici i vojsci. Nudimo safirne optičke komponente, poklopce za leće mobilnih telefona, keramiku, LT, silicijev karbid SIC, kvarc i poluvodičke kristalne pločice. S vještim znanjem i najsuvremenijom opremom, ističemo se u obradi nestandardnih proizvoda, s ciljem da postanemo vodeće visokotehnološko poduzeće u području optoelektroničkih materijala.
