English

Ultraprecizna SiC platforma sa zračnim ležajem

Istaknuta slika ultrapreciznog SiC zračnog ležaja
  • Ultraprecizna SiC platforma sa zračnim ležajem
  • Ultraprecizna SiC platforma sa zračnim ležajem
  • Ultraprecizna SiC platforma sa zračnim ležajem
  • Ultraprecizna SiC platforma sa zračnim ležajem

Kratki opis:

S kontinuiranim razvojem poluvodičke industrije, oprema za obradu i inspekciju zahtijeva sve veće performanse. Nadovezujući se na opsežno stručno znanje u upravljanju gibanjem i pozicioniranju na nanometarskoj razini, razvili smo planarnu dvoosnu ultrapreciznu pozornicu tipa H s zračnim ležajem.


Značajke

Detaljan dijagram

1_副本
4_副本

Pregled

S kontinuiranim razvojem poluvodičke industrije, oprema za obradu i inspekciju zahtijeva sve veće performanse. Nadovezujući se na opsežno stručno znanje u upravljanju gibanjem i pozicioniranju na nanometarskoj razini, razvili smo planarnu dvoosnu ultrapreciznu pozornicu tipa H s zračnim ležajem.

Izrađena s keramičkom strukturom silicijevog karbida (SiC) optimiziranom metodom konačnih elemenata i tehnologijom kompenziranog zračnog ležaja, platforma pruža izvanrednu točnost, krutost i dinamički odziv. Idealno je prikladna za:

  • Obrada i inspekcija poluvodiča
    Mikro/nano izrada i mjeriteljstvo
    Rezanje i poliranje na nanometarskoj skali
    Precizno skeniranje velikom brzinom

Ključne značajke

  • Vodilica sa zračnim ležajem SiCza ultra visoku krutost i preciznost

  • Visoka dinamika: brzina do 1 m/s, ubrzanje do 4 g, brzo slijeganje

  • Dvostruki pogon portala Y-ososigurava visoku nosivost i stabilnost

  • Opcije enkoderaoptička rešetka ili laserski interferometar

  • Točnost pozicioniranja±0,15 μm;ponovljivost±75 nm

  • Optimizirano usmjeravanje kabelaza čist dizajn i dugotrajnu pouzdanost

  • Prilagodljive konfiguracijeza specifične potrebe primjene

Ultraprecizni dizajn i beskontaktna arhitektura s direktnim pogonom

  • SiC keramički okvir: ~5× krutost aluminijske legure i ~5× niže toplinsko širenje, što osigurava stabilnost pri velikim brzinama i toplinsku robusnost.

  • Kompenzirani zračni ležajVlasnički dizajn povećava krutost, nosivost i stabilnost kretanja.

  • Dinamičke performansePodržava brzinu od 1 m/s i ubrzanje od 4 g, idealno za procese visokog protoka.

  • Besprijekorna integracijaKompatibilno sa sustavima za izolaciju vibracija, rotacijskim postoljima, nagibnim modulima i platformama za rukovanje pločicama.

  • Upravljanje kabelimaKontrolirani radijus savijanja minimizira naprezanje za produljeni vijek trajanja.

 

  • Linearni motor bez jezgre: Glatko kretanje bez sile ozubljenja.

  • Višemotorni pogonPoložaj motora u ravnini opterećenja poboljšava pravocrtnost, ravnost i kutnu preciznost.

  • Toplinska izolacijaMotori su izolirani od konstrukcije pozornice; opcionalno hlađenje zrakom ili vodom za cikluse visokog opterećenja.

Tehnički podaci

Model 400-400 500-500 600-600
Sjekire X (skeniranje) / Y (korak) X (skeniranje) / Y (korak) X (skeniranje) / Y (korak)
Hod (mm) 400 / 400 500 / 500 600 / 600
Točnost (μm) ±0,15 ±0,2 ±0,2
Ponovljivost (nm) ±75 ±100 ±100
Rezolucija (nm) 0,3 0,3 0,3
Maks. brzina (m/s) 1 1 1
Ubrzanje (g) 4 4 4
Pravost (μm) ±0,2 ±0,3 ±0,4
Stabilnost (nm) ±5 ±5 ±5
Maks. opterećenje (kg) 20 20 20
Nagib/Okret/Skretanje (lučna sekunda) ±1 ±1 ±1

 

Uvjeti ispitivanja:

  • Dovod zraka: čist, suh; točka rosišta ≤ 0°F; filtracija čestica ≤ 0,25 μm; ili 99,99% dušika.

  • Točnost izmjerena 25 mm iznad središta stolića na 20±1 °C, 40–60% relativne vlažnosti.

 

Primjene

  • Poluvodička litografija, inspekcija i rukovanje pločicama

  • Mikro/nano izrada i precizna metrologija

  • Proizvodnja vrhunske optike i interferometrija

  • Zrakoplovstvo i napredna znanstvena istraživanja

Često postavljana pitanja – Zračni ležaj od silicijevog karbida

1. Što je zračno-noseći stupanj?

Zračno-ležajna pozornica koristi tanki film komprimiranog zraka između pozornice i vodilice kako bi se osiguralobesprijekorno kretanje bez trenja, bez habanja i ultra glatkoZa razliku od konvencionalnih mehaničkih ležajeva, eliminira efekt zalijepljenog klizanja, pruža nanometarsku točnost i podržava dugoročnu pouzdanost.

2. Zašto koristiti silicijev karbid (SiC) za strukturu pozornice?

  • Visoka krutost: ~5× više od aluminijeve legure, što minimizira deformaciju tijekom dinamičkog gibanja.

  • Nisko toplinsko širenje~5× niže od aluminija, uz održavanje točnosti pri temperaturnim promjenama.

  • LaganaManja gustoća u usporedbi s čelikom, što omogućuje rad velikom brzinom i velikim ubrzanjem.

  • Izvrsna stabilnostVrhunsko prigušenje i krutost za ultraprecizno pozicioniranje.

3. Treba li pozornica podmazivanje ili održavanje?

Nije potrebno tradicionalno podmazivanje jer postojibez mehaničkog kontaktaPreporučeno održavanje uključuje:

  • Opskrbačisti, suhi komprimirani zrak ili dušik

  • Periodični pregled filtera i sušilica

  • Nadzor kabela i sustava hlađenja

4. Koji su zahtjevi za dovod zraka?

  • Točka rosišta: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)

  • Filtracija čestica: ≤ 0,25 μm

  • Čist, suh zrak ili 99,99% čisti dušik

  • Stabilan tlak s minimalnim fluktuacijama

O nama

XKH se specijalizirao za visokotehnološki razvoj, proizvodnju i prodaju posebnog optičkog stakla i novih kristalnih materijala. Naši proizvodi služe optičkoj elektronici, potrošačkoj elektronici i vojsci. Nudimo safirne optičke komponente, poklopce za leće mobilnih telefona, keramiku, LT, silicijev karbid SIC, kvarc i poluvodičke kristalne pločice. S vještim znanjem i najsuvremenijom opremom, ističemo se u obradi nestandardnih proizvoda, s ciljem da postanemo vodeće visokotehnološko poduzeće u području optoelektroničkih materijala.

456789
  • Prethodno:
  • Sljedeći:

    • Povezani proizvodi

    Napišite svoju poruku ovdje i pošaljite nam je
    Pritisnite enter za pretraživanje ili ESC za zatvaranje