150 mm 200 mm 6 inča 8 inča GaN na silicijskoj epi-slojnoj pločici Epitaksijalna pločica od galijevog nitrida
Metoda proizvodnje
Proizvodni proces uključuje uzgoj GaN slojeva na safirnoj podlozi korištenjem naprednih tehnika kao što su metal-organsko kemijsko taloženje iz parne faze (MOCVD) ili molekularno-snopna epitaksija (MBE). Proces taloženja provodi se pod kontroliranim uvjetima kako bi se osigurala visoka kvaliteta kristala i ujednačen film.
Primjene 6-inčnog GaN-na-safiru: 6-inčni safirni čipovi se široko koriste u mikrovalnim komunikacijama, radarskim sustavima, bežičnoj tehnologiji i optoelektronici.
Neke uobičajene primjene uključuju
1. RF pojačalo snage
2. Industrija LED rasvjete
3. Oprema za bežičnu mrežnu komunikaciju
4. Elektronički uređaji u okruženju visoke temperature
5. Optoelektronički uređaji
Specifikacije proizvoda
- Veličina: Promjer podloge je 6 inča (oko 150 mm).
- Kvaliteta površine: Površina je fino polirana kako bi se osigurala izvrsna kvaliteta zrcala.
- Debljina: Debljina GaN sloja može se prilagoditi prema specifičnim zahtjevima.
- Pakiranje: Podloga je pažljivo pakirana antistatičkim materijalima kako bi se spriječila oštećenja tijekom transporta.
- Rubovi za pozicioniranje: Podloga ima specifične rubove za pozicioniranje koji olakšavaju poravnanje i rad tijekom pripreme uređaja.
- Ostali parametri: Specifični parametri poput tankoće, otpornosti i koncentracije dopinga mogu se prilagoditi prema zahtjevima kupca.
Zahvaljujući svojim vrhunskim svojstvima materijala i raznolikoj primjeni, 6-inčne safirne pločice pouzdan su izbor za razvoj visokoučinkovitih poluvodičkih uređaja u raznim industrijama.
| Podloga | 6” 1 mm <111> p-tip Si | 6” 1 mm <111> p-tip Si |
| Epi Debeli Prosjek | ~5um | ~7um |
| Epi ThickUnif | <2% | <2% |
| Pramac | +/-45um | +/-45um |
| Pucanje | <5 mm | <5 mm |
| Vertikalni BV | >1000V | >1400 V |
| HEMT Al% | 25-35% | 25-35% |
| HEMT debljina prosječne | 20-30 nm | 20-30 nm |
| Insitu SiN čep | 5-60 nm | 5-60 nm |
| 2DEG konc. | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
| Mobilnost | ~2000 cm2/Vs (<2%) | ~2000 cm2/Vs (<2%) |
| Rš | <330 ohma/kvadratni (<2%) | <330 ohma/kvadratni (<2%) |
Detaljan dijagram
