4 inča 6 inča litij niobat monokristal film LNOI pločica
Proces pripreme LNOI materijala uglavnom je podijeljen u sljedeća četiri koraka
(1) He ioni su ubrizgani u materijal litij-niobata X-reza pri određenoj energiji i uvedeni u sloj defekta na određenoj dubini ispod površinskog sloja litij-niobata;
(2) Ionski implantirani materijal litij niobat vezan je za silicijsku podlogu s oksidnim slojem kako bi se formirala povezujuća struktura;
(3) Vezna struktura je žarena kako bi se defekti uvedeni implantacijom He iona razvili i agregirali da bi formirali pukotine. Konačno, litij niobat je odvojen duž defektnog sloja kako bi se formirale zaostale kriške litij niobata i LNOI pločice.
Primjene i prednosti LNOI pločice
1--Piezoelektrični filmovi litij niobata (LNOI) imaju visok piezoelektrični koeficijent i dielektričnu konstantu, koji mogu pretvoriti mehaničku energiju u električnu energiju ili električnu energiju u mehaničku energiju. Stoga se široko koristi u području senzora, kao što su senzori tlaka, senzori ubrzanja, senzori temperature i tako dalje. Osim toga, piezoelektrični film litij niobata također se može koristiti u akustičnim uređajima i uređajima za vibracije, kao što je složeni piezoelektrični keramički filtar piezoelektričnog keramičkog pretvornika.
2-Stabilnost piezoelektričnog filma litij niobata također je jedna od njegovih prednosti. Zbog stabilnosti kristalne strukture i kemijske inertnosti, piezoelektrični film litij-niobata može raditi na visokoj temperaturi, visokoj vlažnosti, jakoj kiselini, jakoj alkaliji i drugim teškim uvjetima, s dobrom otpornošću na koroziju i izdržljivošću.
Piezoelektrični film od 3-litij-niobata je novi piezoelektrični materijal s izvrsnim performansama i stabilnošću i ima široku perspektivu primjene. Uz kontinuirani razvoj znanosti i tehnologije, piezoelektrični film od litij niobata primjenjivat će se u više gradova, donoseći više pogodnosti i inovacija u živote ljudi