4-inčna 6-inčna LNOI pločica s monokristalnim filmom litij-niobata
Proces pripreme LNOI materijala uglavnom je podijeljen u sljedeća četiri koraka
(1) He ioni su ubrizgani u X-cut litijev niobatni materijal pri određenoj energiji i uvedeni u sloj defekta na određenoj dubini ispod površinskog sloja litijevog niobata;
(2) Ionski implantirani litijev niobatni materijal vezan je na silicijsku podlogu slojem oksida kako bi se formirala vezana struktura;
(3) Vezna struktura je žarena kako bi se defekti nastali implantacijom He iona razvili i agregirali te formirali pukotine. Konačno, litijev niobat je odvojen duž sloja defekta kako bi se formirale rezidualne kriške litijevog niobata i LNOI pločice.
Primjene i prednosti LNOI pločice
1--Piezoelektrični filmovi litij-niobata (LNOI) imaju visoki piezoelektrični koeficijent i dielektričnu konstantu, što im omogućuje pretvorbu mehaničke energije u električnu energiju ili električnu energiju u mehaničku energiju. Stoga se široko koriste u području senzora, kao što su senzori tlaka, senzori ubrzanja, senzori temperature i tako dalje. Osim toga, piezoelektrični film litij-niobata može se koristiti i u akustičnim uređajima i vibracijskim uređajima, kao što su piezoelektrični keramički pretvarači i složeni piezoelektrični keramički filteri.
2-Stabilnost piezoelektričnog filma litij-niobata također je jedna od njegovih prednosti. Zbog stabilnosti kristalne strukture i kemijske inertnosti, piezoelektrični film litij-niobata može raditi na visokim temperaturama, visokoj vlažnosti, jakim kiselinama, jakim lužinama i drugim teškim uvjetima, uz dobru otpornost na koroziju i trajnost.
3-Litij-niobat piezoelektrični film je novi piezoelektrični materijal s izvrsnim performansama i stabilnošću te ima široku primjenu. Kontinuiranim razvojem znanosti i tehnologije, litij-niobat piezoelektrični film će se primjenjivati u sve više gradova, donoseći više praktičnosti i inovacija u živote ljudi.
Detaljan dijagram


