8-inčna silicijska pločica P/N-tipa (100) 1-100Ω lažna regenerirana podloga
Uvođenje kutije za oblatne
8-inčna silicijska pločica je često korišteni materijal za silicijsku podlogu i široko se koristi u procesu proizvodnje integriranih krugova. Takve silicijske pločice obično se koriste za izradu različitih vrsta integriranih krugova, uključujući mikroprocesore, memorijske čipove, senzore i druge elektroničke uređaje. 8-inčne silicijske pločice obično se koriste za izradu čipova relativno velikih veličina, s prednostima koje uključuju veću površinu i mogućnost izrade više čipova na jednoj silicijskoj pločici, što dovodi do povećane učinkovitosti proizvodnje. 8-inčna silicijska pločica također ima dobra mehanička i kemijska svojstva, što je pogodno za proizvodnju integriranih krugova velikih razmjera.
Značajke proizvoda
8" P/N tip, polirana silicijska pločica (25 kom)
Orijentacija: 200
Otpornost: 0,1 - 40 ohm•cm (Može varirati od serije do serije)
Debljina: 725+/-20um
Primarni/Monitor/Testni stupanj
SVOJSTVA MATERIJALA
Parametar | Karakteristično |
Vrsta/Dopant | P, bor N, fosfor N, antimon N, arsen |
Orijentacije | <100>, <111> orijentacije odrezaka prema specifikacijama kupca |
Sadržaj kisika | 1019ppmA Prilagođene tolerancije prema specifikaciji kupca |
Sadržaj ugljika | < 0,6 ppmA |
MEHANIČKA SVOJSTVA
Parametar | Primarni | Monitor/Test A | Test |
Promjer | 200±0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
Debljina | 725±20µm (standardno) | 725±25µm (standardno) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (standardno) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Pramac | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Zamotaj | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Zaokruživanje rubova | POLU-STANDARD | ||
Označavanje | Samo primarno POLUMASNI, POLUMASTANDARDNI ravni Jeida ravni, zarez |
Parametar | Primarni | Monitor/Test A | Test |
Kriteriji prednje strane | |||
Stanje površine | Kemijsko mehaničko polirano | Kemijsko mehaničko polirano | Kemijsko mehaničko polirano |
Hrapavost površine | < 2 Å | < 2 Å | < 2 Å |
Kontaminacija Čestice @ >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Izmaglica, Jame Kora naranče | Ništa | Ništa | Ništa |
Pila, oznake Brazdanje | Ništa | Ništa | Ništa |
Kriteriji stražnje strane | |||
Pukotine, bore oko vrata, tragovi pile, mrlje | Ništa | Ništa | Ništa |
Stanje površine | Kaustično jetkano |
Detaljan dijagram


