FZ CZ Si pločica na zalihama 12 inčna silikonska pločica Prime ili Test
Uvođenje kutije za napolitanke
Polirane napolitanke
Silikonske pločice koje su posebno polirane s obje strane kako bi se dobila zrcalna površina.Vrhunske karakteristike kao što su čistoća i ravnost definiraju najbolje karakteristike ove vafle.
Nedopirane silikonske pločice
Također su poznati kao intrinzične silikonske pločice.Ovaj poluvodič je čisti kristalni oblik silicija bez prisutnosti ikakvih dodataka u cijeloj pločici, što ga čini idealnim i savršenim poluvodičem.
Dopirane silikonske pločice
N-tip i P-tip su dvije vrste dopiranih silikonskih pločica.
N-tip dopirane silicijske pločice sadrže arsen ili fosfor.Naširoko se koristi u proizvodnji naprednih CMOS uređaja.
Silicijske pločice dopirane borom P-tipa.Uglavnom se koristi za izradu tiskanih krugova ili fotolitografiju.
Epitaksijalne pločice
Epitaksijalne pločice su konvencionalne pločice koje se koriste za postizanje integriteta površine.Epitaksijalne pločice dostupne su u debelim i tankim pločicama.
Višeslojne epitaksijalne pločice i debele epitaksijalne pločice također se koriste za regulaciju potrošnje energije i kontrolu snage uređaja.
Tanke epitaksijalne pločice obično se koriste u vrhunskim MOS instrumentima.
SOI napolitanke
Ove pločice se koriste za električnu izolaciju finih slojeva monokristalnog silicija od cijele silicijske pločice.SOI pločice se obično koriste u silicijskoj fotonici i RF aplikacijama visokih performansi.SOI pločice se također koriste za smanjenje kapacitivnosti parazitnih uređaja u mikroelektroničkim uređajima, što pomaže u poboljšanju performansi.
Zašto je proizvodnja vafla teška?
12-inčne silikonske pločice vrlo je teško rezati u smislu prinosa.Iako je silicij tvrd, on je i krt.Gruba područja nastaju jer piljeni rubovi vafla imaju tendenciju pucanja.Dijamantni diskovi se koriste za glačanje rubova pločice i uklanjanje eventualnih oštećenja.Nakon rezanja oblatne se lako lome jer sada imaju oštre rubove.Rubovi vafla dizajnirani su na takav način da su eliminirani lomljivi, oštri rubovi i smanjena mogućnost klizanja.Kao rezultat operacije oblikovanja ruba, promjer oblatne se podešava, oblatna se zaokružuje (nakon rezanja, odrezana oblatna je ovalna), a urezi ili usmjerene ravnine se prave ili dimenzioniraju.