FZ CZ Si pločica na zalihama 12 inčna silikonska pločica Prime ili Test
Uvođenje kutije za napolitanke
Polirane napolitanke
Silikonske pločice koje su posebno polirane s obje strane kako bi se dobila zrcalna površina. Vrhunske karakteristike kao što su čistoća i ravnost definiraju najbolje karakteristike ove vafle.
Nedopirane silikonske pločice
Također su poznati kao intrinzične silikonske pločice. Ovaj poluvodič je čisti kristalni oblik silicija bez prisutnosti ikakvih dodataka u cijeloj pločici, što ga čini idealnim i savršenim poluvodičem.
Dopirane silikonske pločice
N-tip i P-tip su dvije vrste dopiranih silikonskih pločica.
N-tip dopirane silicijske pločice sadrže arsen ili fosfor. Naširoko se koristi u proizvodnji naprednih CMOS uređaja.
Silicijske pločice dopirane borom P-tipa. Uglavnom se koristi za izradu tiskanih krugova ili fotolitografiju.
Epitaksijalne pločice
Epitaksijalne pločice su konvencionalne pločice koje se koriste za postizanje integriteta površine. Epitaksijalne pločice dostupne su u debelim i tankim pločicama.
Višeslojne epitaksijalne pločice i debele epitaksijalne pločice također se koriste za regulaciju potrošnje energije i kontrolu snage uređaja.
Tanke epitaksijalne pločice se obično koriste u vrhunskim MOS instrumentima.
SOI napolitanke
Ove pločice se koriste za električnu izolaciju finih slojeva monokristalnog silicija od cijele silicijske pločice. SOI pločice se obično koriste u silicijskoj fotonici i RF aplikacijama visokih performansi. SOI pločice se također koriste za smanjenje kapacitivnosti parazitnih uređaja u mikroelektroničkim uređajima, što pomaže u poboljšanju performansi.
Zašto je proizvodnja vafla teška?
12-inčne silikonske pločice vrlo je teško rezati u smislu prinosa. Iako je silicij tvrd, on je i krt. Gruba područja nastaju jer piljeni rubovi vafla imaju tendenciju pucanja. Dijamantni diskovi se koriste za glačanje rubova pločice i uklanjanje eventualnih oštećenja. Nakon rezanja oblatne se lako lome jer sada imaju oštre rubove. Rubovi vafla dizajnirani su na takav način da su eliminirani lomljivi, oštri rubovi i smanjena mogućnost klizanja. Kao rezultat operacije oblikovanja rubova, promjer oblatne se podešava, oblatna se zaokružuje (nakon rezanja, odrezana oblatna je ovalna), prave se ili dimenzioniraju zarezi ili usmjerene ravnine.
Detaljan dijagram


