Silicij-karbidne SiC pločice od 6 inča od 150 mm tipa 4H-N za MOS ili SBD Istraživanje proizvodnje i lažni stupanj
Polja primjene
6-inčni monokristalni supstrat od silicij karbida igra ključnu ulogu u više industrija. Prvo, naširoko se koristi u industriji poluvodiča za izradu elektroničkih uređaja velike snage kao što su tranzistori snage, integrirani krugovi i moduli snage. Njegova visoka toplinska vodljivost i otpornost na visoke temperature omogućuju bolju disipaciju topline, što rezultira poboljšanom učinkovitošću i pouzdanošću. Drugo, pločice od silicijevog karbida bitne su u istraživačkim poljima za razvoj novih materijala i uređaja. Osim toga, pločica od silicij-karbida nalazi široku primjenu u području optoelektronike, uključujući proizvodnju LED dioda i laserskih dioda.
Specifikacije proizvoda
6-inčni monokristalni supstrat od silicij-karbida ima promjer od 6 inča (približno 152,4 mm). Hrapavost površine je Ra < 0,5 nm, a debljina 600 ± 25 μm. Supstrat se može prilagoditi s vodljivošću N-tipa ili P-tipa, na temelju zahtjeva kupca. Štoviše, pokazuje izuzetnu mehaničku stabilnost, sposoban je izdržati pritisak i vibracije.
Promjer | 150±2,0 mm(6 inča) | ||||
Debljina | 350 μm±25 μm | ||||
Orijentacija | Na osi: <0001>±0,5° | Izvan osi: 4,0° prema 1120±0,5° | |||
Politip | 4H | ||||
Otpor (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Primarna ravna orijentacija | {10-10}±5,0° | ||||
Primarna ravna duljina (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
Rub | Iskošenje | ||||
TTV/Prak/Warp (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM prednji (Si-lice) | Poljski Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,5 nm | |||||
LTV | ≤3μm(10mm*10mm) | ≤5μm(10mm*10mm) | ≤10μm(10mm*10mm) | ||
TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15 μm | ||
Narančina kora/jame/pukotine/kontaminacija/mrlje/pruge | Nijedan | Nijedan | Nijedan | ||
uvlake | Nijedan | Nijedan | Nijedan |
6-inčni monokristalni supstrat od silicij-karbida materijal je visokih performansi koji se široko koristi u industriji poluvodiča, istraživanju i optoelektronici. Nudi izvrsnu toplinsku vodljivost, mehaničku stabilnost i otpornost na visoke temperature, što ga čini prikladnim za izradu elektroničkih uređaja velike snage i istraživanja novih materijala. Pružamo različite specifikacije i mogućnosti prilagodbe kako bismo zadovoljili različite zahtjeve kupaca.Kontaktirajte nas za više detalja o pločicama od silicij karbida!