SiO2 tanki film termalnog oksida silicijeve pločice 4 inča 6 inča 8 inča 12 inča
Uvođenje kutije za oblatne
Glavni proces proizvodnje oksidiranih silicijevih pločica obično uključuje sljedeće korake: rast monokristalnog silicija, rezanje na pločice, poliranje, čišćenje i oksidaciju.
Rast monokristalnog silicija: Prvo, monokristalni silicij se uzgaja na visokim temperaturama metodama kao što su Czochralskijeva metoda ili Float-zonska metoda. Ova metoda omogućuje pripremu silicijevih monokristala visoke čistoće i integriteta rešetke.
Rezanje: Uzgojeni monokristalni silicij obično je cilindričnog oblika i potrebno ga je rezati na tanke pločice kako bi se koristio kao podloga za pločice. Rezanje se obično vrši dijamantnim rezačem.
Poliranje: Površina izrezane pločice može biti neravna i potrebno je kemijsko-mehaničko poliranje kako bi se dobila glatka površina.
Čišćenje: Polirana pločica se čisti kako bi se uklonile nečistoće i prašina.
Oksidacija: Konačno, silicijeve pločice se stavljaju u visokotemperaturnu peć za oksidacijsku obradu kako bi se formirao zaštitni sloj silicijevog dioksida za poboljšanje njegovih električnih svojstava i mehaničke čvrstoće, kao i da služi kao izolacijski sloj u integriranim krugovima.
Glavne upotrebe oksidiranih silicijskih pločica uključuju proizvodnju integriranih krugova, proizvodnju solarnih ćelija i proizvodnju drugih elektroničkih uređaja. Pločice silicijevog oksida široko se koriste u području poluvodičkih materijala zbog svojih izvrsnih mehaničkih svojstava, dimenzijske i kemijske stabilnosti, sposobnosti rada na visokim temperaturama i visokim tlakovima, kao i dobrih izolacijskih i optičkih svojstava.
Njegove prednosti uključuju potpunu kristalnu strukturu, čisti kemijski sastav, precizne dimenzije, dobra mehanička svojstva itd. Ove značajke čine pločice silicijevog oksida posebno prikladnima za izradu visokoučinkovitih integriranih krugova i drugih mikroelektroničkih uređaja.
Detaljan dijagram
