SiO2 tanki film termalno oksidna silikonska pločica 4 inča 6 inča 8 inča 12 inča

Glavni proces proizvodnje pločica od oksidiranog silicija obično uključuje sljedeće korake: rast monokristalnog silicija, rezanje u pločice, poliranje, čišćenje i oksidaciju.

Rast monokristalnog silicija: Prvo, monokristalni silicij se uzgaja na visokim temperaturama metodama kao što su Czochralski metoda ili metoda Float-zone. Ova metoda omogućuje pripremu monokristala silicija visoke čistoće i integriteta rešetke.

Rezanje na kockice: uzgojeni monokristalni silicij obično je cilindričnog oblika i potrebno ga je izrezati na tanke pločice koje će se koristiti kao podloga za pločice. Rezanje se obično vrši dijamantnim rezačem.

Poliranje: Površina izrezane ploče može biti neravna i zahtijeva kemijsko-mehaničko poliranje kako bi se dobila glatka površina.

Čišćenje: Polirana pločica se čisti od nečistoća i prašine.

Oksidiranje: Na kraju, silicijske pločice se stavljaju u visokotemperaturnu peć za oksidaciju kako bi se formirao zaštitni sloj silicijevog dioksida za poboljšanje njegovih električnih svojstava i mehaničke čvrstoće, kao i da služe kao izolacijski sloj u integriranim krugovima.

Glavna upotreba pločica od oksidiranog silicija uključuje proizvodnju integriranih krugova, proizvodnju solarnih ćelija i proizvodnju drugih elektroničkih uređaja. Pločice od silicijeva oksida naširoko se koriste u području poluvodičkih materijala zbog svojih izvrsnih mehaničkih svojstava, dimenzijske i kemijske stabilnosti, sposobnosti rada na visokim temperaturama i visokim tlakovima, kao i dobrih izolacijskih i optičkih svojstava.

Njegove prednosti uključuju potpunu kristalnu strukturu, čisti kemijski sastav, precizne dimenzije, dobra mehanička svojstva, itd. Ove značajke čine pločice od silicij-oksida posebno prikladnim za proizvodnju integriranih krugova visokih performansi i drugih mikroelektroničkih uređaja.